中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-760
年式表記：
仕様:ガスN2 流量500SCCM W125 D33 H180
仕様:ガスN2 流量500SCCM W125 D33 H180
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、長年にわたり半導体製造プロセスや各種工業・研究用途において安定した稼働実績を持つ、熱式のアナログマスフローコントローラーです。窒素ガス（N2）専用に調整されており、最大500 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までのガス流量を高精度に計測・制御します。
内部に搭載された熱式センサーと制御バルブにより、一次側の供給圧力や二次側の負荷変動、周囲温度の変化に左右されることなく、設定された質量流量を一定に維持します。外形寸法は幅125mm、奥行33mm、高さ180mmとコンパクトな設計になっており、限られたスペースへの設置や既存システムへの統合が容易です。アナログ信号（0〜5 VDC）による制御に対応しており、シンプルなシステム構成での運用に適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: N2（窒素ガス）
* **最大制御流量**: 500 SCCM
* **流量制御方式**: アナログ式熱式質量流量制御
* **精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 約2〜4秒（設定値の±2%以内に到達）
* **動作差圧範囲**: 約0.07 MPa 〜 0.27 MPa（10 〜 40 psid）
* **耐圧**: 最大 1.0 MPa
* **電源仕様**: ±15 VDC
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC（流量設定・流量出力）
* **動作周囲温度**: 5 〜 50℃
* **外形寸法**: W125 mm × D33 mm × H180 mm
* **継手仕様**: 1/4インチ（SwagelokまたはVCR等、個体仕様に準ずる）
本装置は、長年にわたり半導体製造プロセスや各種工業・研究用途において安定した稼働実績を持つ、熱式のアナログマスフローコントローラーです。窒素ガス（N2）専用に調整されており、最大500 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までのガス流量を高精度に計測・制御します。
内部に搭載された熱式センサーと制御バルブにより、一次側の供給圧力や二次側の負荷変動、周囲温度の変化に左右されることなく、設定された質量流量を一定に維持します。外形寸法は幅125mm、奥行33mm、高さ180mmとコンパクトな設計になっており、限られたスペースへの設置や既存システムへの統合が容易です。アナログ信号（0〜5 VDC）による制御に対応しており、シンプルなシステム構成での運用に適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: N2（窒素ガス）
* **最大制御流量**: 500 SCCM
* **流量制御方式**: アナログ式熱式質量流量制御
* **精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 約2〜4秒（設定値の±2%以内に到達）
* **動作差圧範囲**: 約0.07 MPa 〜 0.27 MPa（10 〜 40 psid）
* **耐圧**: 最大 1.0 MPa
* **電源仕様**: ±15 VDC
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC（流量設定・流量出力）
* **動作周囲温度**: 5 〜 50℃
* **外形寸法**: W125 mm × D33 mm × H180 mm
* **継手仕様**: 1/4インチ（SwagelokまたはVCR等、個体仕様に準ずる）