中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-780のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種化学気相堆積（CVD）プロセス等において、気体の質量流量を精密に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラー（MFC）です。センサー部、バイパス部、および電磁式コントロールバルブを一体化し、外部からの電気信号に応じて設定された流量を正確に維持します。

本個体は、シリコンエピタキシャル成長や窒化膜、酸化膜の形成に広く用いられる「ジクロロシラン（SiH2Cl2）」ガス専用として調整されており、最大流量100 SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）に対応しています。腐食性の高いプロセスガスに対して優れた耐食性を発揮する金属材料が接ガス部に採用されており、経時変化が少なく長期にわたる安定した流量制御が可能です。アナログインターフェースによる制御に対応し、既存のレガシーシステムや研究開発用装置への組み込み・リプレイスに適しています。

【AIによる参考仕様】
※以下の仕様はメーカー公表の標準的な代表値であり、実機の設定や校正状態によって異なる場合があります。

* **対象ガス：** ジクロロシラン（SiH2Cl2）
* **最大制御流量：** 100 SCCM
* **流量制御範囲：** 2% 〜 100% F.S.（フルスケール）
* **精度（リニアリティ含む）：** ±1.0% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.以内
* **応答時間：** 約2秒〜4秒（設定値の98%到達まで）
* **動作差圧範囲：** 0.05 MPa 〜 0.3 MPa（約7〜43 psi）
* **耐圧：** 最大 1.0 MPa
* **外部制御信号（入力/出力）：** 0 〜 5 VDC
* **動作電源：** ±15 VDC（+15V：約50mA / -15V：約150mA）
* **接ガス部材質：** SUS316L、およびフッ素系ゴム（または金属シール）
* **電気コネクタ：** カードエッジコネクタ（またはD-sub端子仕様、要実機確認）
* **継手サイズ：** 1/4インチ（VCRまたはSwagelok仕様、要実機確認）