中古機 マスフローコントローラー（MFC） 製、型式のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする各種産業用のガス制御プロセスにおいて、極めて高い制御性と安定性を発揮する高精度なデジタルマスフローコントローラー（MFC）です。気体の質量流量を直接計測して制御するため、周囲の温度や圧力の変化に影響されることなく、常に一定かつ正確なガス流量の供給を維持します。

高速応答性に優れた熱式流量センサーと、微細な開度調整が可能な電磁式バルブの組み合わせにより、流量設定変更時の応答速度は1.0秒以下（T98）を実現。プロセスのタクトタイム短縮や、過渡的な流量変化の抑制に貢献します。また、デジタル通信機能を備えており、ホストPC等からのリアルタイムな流量監視やパラメータ調整が容易です。さらに、複数のガス種や異なる流量レンジにソフトウェア上で切り替え可能なマルチガス・マルチレンジ機能に対応しており、ラインの仕様変更や予備品の共通化にも柔軟に対応できる汎用性の高いモデルです。

【AIによる参考仕様】
* **制御流量範囲**: 10 sccm 〜 50 slm（窒素換算フルスケール流量、選択仕様による）
* **流量制御比（レンジアビリティ）**: 2% 〜 100% F.S.
* **流量測定精度**: ±1.0% S.P.（設定値精度：流量10%〜100% F.S.において） / ±0.1% F.S.（流量10%以下において）
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **応答速度**: 1.0秒以下（全可変範囲における代表値）
* **動作差圧範囲**: 50 kPa 〜 300 kPa
* **耐圧**: 1.0 MPa（ゲージ圧）
* **外部リーク量**: 1 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec 以下（He）
* **動作温度範囲**: 5℃ 〜 50℃
* **接ガス部材質**: SUS316L、フッ素ゴム（または金属シール仕様）
* **インターフェース**:
* アナログ：0 〜 5 VDC
* デジタル：RS-485
* **継手形状**: 1/4インチ VCR相当、またはダブルフェルール継手
* **電源**: DC ±15V（±5%）または DC +24V

※上記仕様は、標準的な構成における代表値（参考値）です。中古品のため、実際の機体のガス種・流量レンジ等の個別設定やコネクタピンアサインについては、現物の銘板および仕様をご確認ください。