中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-410のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや精密薄膜形成分野において長年にわたり高い導入実績を誇る、アナログ制御方式の熱式マスフローコントローラーです。周囲の環境温度や圧力の変動に影響を受けにくい熱式質量流量センサーを搭載し、安定した気体の質量流量測定と高精度なバルブ制御を実現します。

本個体は、半導体デポジション工程等で使用される特殊材料ガスである「50%SiH4/N2（シラン50%・窒素バランス）」に対応した設計となっており、最大制御流量は「1SLM」です。駆動電源は±15VDC、流量設定および出力信号には0〜5VDCのアナログインターフェースを採用しているため、既存のアナログ制御システムや自動化ラインへのスムーズな組み込み、およびリプレイスに適しています。実績に裏打ちされた確実な応答性と信頼性を備えた、扱いやすいスタンダードモデルです。

【AIによる参考仕様】
※以下の数値は本シリーズの標準的なカタログスペックに基づく参考値であり、実機の校正状態やオプション仕様により異なる場合があります。

・最大制御流量：1 SLM（本個体仕様）
・対応ガス：50% SiH4 / N2（本個体仕様）
・流量精度：±1.0% F.S. (フルスケール)
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：2秒以内（F.S. 98%到達）
・動作差圧範囲：50 kPa 〜 300 kPa
・耐圧：1.0 MPa (G)
・外部リークレート：1 × 10⁻⁸ Pa・m³/s He 以下
・使用周囲温度：5℃ 〜 45℃
・制御信号（入力/出力）：0 〜 5 VDC
・駆動電源：±15 VDC ±5%（+15V：約50mA、-15V：約150mA）
・接ガス部主要材質：SUS316、フッ素ゴム等（ガス仕様に準拠）