中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:流量：200SCCM ガス：AR
仕様:流量：200SCCM ガス：AR
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造プロセスや真空成膜装置、エッチング装置などの産業用途において、プロセスガスの質量流量を精密に測定・制御するための装置です。熱式流量センサーと高分解能の比例制御バルブを本体に内蔵しており、外部システムからの設定信号に基づいて自律的かつ高精度な流量コントロールを行います。
設定されたフルスケール流量は200 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）で、対象ガスはアルゴン（AR）専用にキャリブレーションされています。入出力インターフェースには業界標準である0〜5VDCのアナログ電圧信号を採用しており、既存の制御機器やPLCなどと容易に連動させることが可能です。流量精度はフルスケールに対して±1.0%、再現性は±0.2% F.S.の基準を満たしており、微細なガス流量の変動が品質に影響を与えるプロセスにおいても安定した供給を維持します。
駆動用の電源として±15VDCが必要となります。バルブ制御には高速応答が可能なアクチュエータ（非通電時は閉となるノーマリークローズ設計）が採用されており、ガス供給開始から目標流量に達するまでの応答時間は約2秒以内と迅速です。適正な使用温度範囲は5〜45℃であり、±0.5% F.S.の高い直線性によって、長期間の連続稼働時にもプロセスの再現性と信頼性を客観的に担保します。
【AIによる参考仕様】
対象ガス：AR（アルゴン）
フルスケール流量：200 SCCM
制御インターフェース：アナログ方式
流量設定入力信号：0〜5 VDC
流量モニタ出力信号：0〜5 VDC
必要電源電圧：±15 VDC (±5%)
消費電流：約 150〜200 mA
流量精度：±1.0% F.S.
直線性：±0.5% F.S.
再現性：±0.2% F.S.
応答時間：2秒以内
動作温度範囲：5〜45 ℃
バルブ状態（非通電時）：ノーマリークローズ (NC)
接続継手サイズ：1/4インチ（VCR等）
本機は、半導体製造プロセスや真空成膜装置、エッチング装置などの産業用途において、プロセスガスの質量流量を精密に測定・制御するための装置です。熱式流量センサーと高分解能の比例制御バルブを本体に内蔵しており、外部システムからの設定信号に基づいて自律的かつ高精度な流量コントロールを行います。
設定されたフルスケール流量は200 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）で、対象ガスはアルゴン（AR）専用にキャリブレーションされています。入出力インターフェースには業界標準である0〜5VDCのアナログ電圧信号を採用しており、既存の制御機器やPLCなどと容易に連動させることが可能です。流量精度はフルスケールに対して±1.0%、再現性は±0.2% F.S.の基準を満たしており、微細なガス流量の変動が品質に影響を与えるプロセスにおいても安定した供給を維持します。
駆動用の電源として±15VDCが必要となります。バルブ制御には高速応答が可能なアクチュエータ（非通電時は閉となるノーマリークローズ設計）が採用されており、ガス供給開始から目標流量に達するまでの応答時間は約2秒以内と迅速です。適正な使用温度範囲は5〜45℃であり、±0.5% F.S.の高い直線性によって、長期間の連続稼働時にもプロセスの再現性と信頼性を客観的に担保します。
【AIによる参考仕様】
対象ガス：AR（アルゴン）
フルスケール流量：200 SCCM
制御インターフェース：アナログ方式
流量設定入力信号：0〜5 VDC
流量モニタ出力信号：0〜5 VDC
必要電源電圧：±15 VDC (±5%)
消費電流：約 150〜200 mA
流量精度：±1.0% F.S.
直線性：±0.5% F.S.
再現性：±0.2% F.S.
応答時間：2秒以内
動作温度範囲：5〜45 ℃
バルブ状態（非通電時）：ノーマリークローズ (NC)
接続継手サイズ：1/4インチ（VCR等）