中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-410
年式表記：
仕様:ガス:20%SiH4/Ar 流量:1LM
仕様:ガス:20%SiH4/Ar 流量:1LM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造プロセスをはじめとする精密な気体流量制御に適した、熱式アナログマスフローコントローラです。対象ガスとして20%SiH4/Ar（アルゴン希釈20%シランガス）にキャリブレーションされており、最大制御流量（フルスケール）は1 LM（L/min）に調整されています。
測定部には高精度な熱式センサ、制御部には信頼性の高いソレノイドバルブを採用しており、流体の温度や一次側・二次側の圧力変動に影響されない、極めて安定した質量流量制御を実現します。接ガス部には特殊ガスへの耐食性に優れたステンレス鋼（SUS316L等）や高気密なメタルシール材が使用されており、半導体プロセス用ガスに対しても高い安全性と長期信頼性を確保しています。制御信号は標準的な0-5 VDCのアナログ入出力に対応しており、既存のシステムや制御ボードへの組み込みがスムーズに行えます。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス：** 20%SiH4/Ar（アルゴン希釈20%シランガス）
* **フルスケール（F.S.）流量：** 1 LM（L/min）
* **流量制御範囲：** 2% 〜 100% F.S.
* **流量精度：** ±1.0% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 2.0秒以下（全域）
* **動作差圧範囲：** 49 〜 294 kPa（0.5 〜 3.0 kgf/cm²）
* **耐圧：** 1.0 MPa (G)
* **外部リーク量：** 1×10⁻¹¹ Pa・m³/s (He) 以下（メタルシール仕様）
* **バルブ動作：** ノーマリークローズ（N.C.：無通電時閉）
* **接ガス部材質：** SUS316L、ニッケル合金等
* **アナログインターフェース：**
* 流量設定信号：0 〜 5 VDC
* 流量出力信号：0 〜 5 VDC
* **駆動電源：** ±15 VDC ±5%
* **電気接続：** D-sub 9ピンコネクタ（オス）
本機は、半導体製造プロセスをはじめとする精密な気体流量制御に適した、熱式アナログマスフローコントローラです。対象ガスとして20%SiH4/Ar（アルゴン希釈20%シランガス）にキャリブレーションされており、最大制御流量（フルスケール）は1 LM（L/min）に調整されています。
測定部には高精度な熱式センサ、制御部には信頼性の高いソレノイドバルブを採用しており、流体の温度や一次側・二次側の圧力変動に影響されない、極めて安定した質量流量制御を実現します。接ガス部には特殊ガスへの耐食性に優れたステンレス鋼（SUS316L等）や高気密なメタルシール材が使用されており、半導体プロセス用ガスに対しても高い安全性と長期信頼性を確保しています。制御信号は標準的な0-5 VDCのアナログ入出力に対応しており、既存のシステムや制御ボードへの組み込みがスムーズに行えます。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス：** 20%SiH4/Ar（アルゴン希釈20%シランガス）
* **フルスケール（F.S.）流量：** 1 LM（L/min）
* **流量制御範囲：** 2% 〜 100% F.S.
* **流量精度：** ±1.0% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 2.0秒以下（全域）
* **動作差圧範囲：** 49 〜 294 kPa（0.5 〜 3.0 kgf/cm²）
* **耐圧：** 1.0 MPa (G)
* **外部リーク量：** 1×10⁻¹¹ Pa・m³/s (He) 以下（メタルシール仕様）
* **バルブ動作：** ノーマリークローズ（N.C.：無通電時閉）
* **接ガス部材質：** SUS316L、ニッケル合金等
* **アナログインターフェース：**
* 流量設定信号：0 〜 5 VDC
* 流量出力信号：0 〜 5 VDC
* **駆動電源：** ±15 VDC ±5%
* **電気接続：** D-sub 9ピンコネクタ（オス）