中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-260
年式表記：
仕様:ガスSiH4 流量500SCCM W130 D25 H110
仕様:ガスSiH4 流量500SCCM W130 D25 H110
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種薄膜堆積装置において、特殊材料ガスを高精度に制御するための熱式マスフローコントローラー（MFC）です。対象ガスとしてシラン（SiH4）に対応し、最大流量500SCCMの微小流量域において安定したガス供給を実現します。
内部には、熱式流量センサーと電磁式比例制御バルブ、および精密な制御回路が一体化されており、上流側の圧力変動や温度変化に影響されることなく、設定された流量を正確に維持します。本機は、長年にわたり業界のスタンダードとして信頼されてきたアナログ制御方式を採用しており、0-5 VDCの入出力信号により、外部システムからの流量設定および実流量のモニター出力が容易に行えます。経年変化が少なく安定した動作が特徴であり、研究開発用装置の補修部品や、既存設備のリプレイス用として最適なポテンシャルを持っています。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** モノシラン (SiH4)
* **最大制御流量：** 500 SCCM (Standard Cubic Centimeters per Minute)
* **流量制御方式：** 熱式質量流量制御
* **バルブ動作：** ノーマリークローズ（NC / 電源OFF時閉）
* **制御信号（入力/出力）：** 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源：** ±15 VDC (±5%)
* **精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 約2～4秒（ステップ変化に対して設定値の98%に達する時間）
* **耐圧（最大動作圧力）：** 1.0 MPa (10 kgf/cm²)
* **本体寸法：** 幅 130 mm × 奥行 25 mm × 高さ 110 mm（突起部、継手部を除く）
本装置は、半導体製造プロセスや各種薄膜堆積装置において、特殊材料ガスを高精度に制御するための熱式マスフローコントローラー（MFC）です。対象ガスとしてシラン（SiH4）に対応し、最大流量500SCCMの微小流量域において安定したガス供給を実現します。
内部には、熱式流量センサーと電磁式比例制御バルブ、および精密な制御回路が一体化されており、上流側の圧力変動や温度変化に影響されることなく、設定された流量を正確に維持します。本機は、長年にわたり業界のスタンダードとして信頼されてきたアナログ制御方式を採用しており、0-5 VDCの入出力信号により、外部システムからの流量設定および実流量のモニター出力が容易に行えます。経年変化が少なく安定した動作が特徴であり、研究開発用装置の補修部品や、既存設備のリプレイス用として最適なポテンシャルを持っています。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** モノシラン (SiH4)
* **最大制御流量：** 500 SCCM (Standard Cubic Centimeters per Minute)
* **流量制御方式：** 熱式質量流量制御
* **バルブ動作：** ノーマリークローズ（NC / 電源OFF時閉）
* **制御信号（入力/出力）：** 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源：** ±15 VDC (±5%)
* **精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 約2～4秒（ステップ変化に対して設定値の98%に達する時間）
* **耐圧（最大動作圧力）：** 1.0 MPa (10 kgf/cm²)
* **本体寸法：** 幅 130 mm × 奥行 25 mm × 高さ 110 mm（突起部、継手部を除く）