中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-410-146
年式表記：
仕様:ガス:4%PH3/Ar 流量:250CCM
仕様:ガス:4%PH3/Ar 流量:250CCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや各種研究開発用装置において、ガスの質量流量を極めて正確に測定・制御する熱式質量流量制御装置です。
センサー部で検出した質量流量値を元に、内蔵された高性能ソレノイドバルブを高速でフィードバック制御することにより、プロセスの安定性を高めます。本個体は、半導体のドーピング用途などに用いられる特殊ガス「4% PH3/Ar（アルゴン希釈4%ホスフィン）」に対応し、最大流量「250CCM（sccm）」の精密制御用にキャリブレーション（調整）されています。
アナログ信号（0〜5 VDC）による入出力インターフェースに対応しており、既存のアナログ制御システムや真空排気ラインへの組み込み、リプレイスがスムーズに行えます。高信頼性の熱式センサー技術により、経時変化が少なく長期間にわたり安定したガス流量供給が可能な産業用コンポーネントです。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**：4% PH3 / Ar （アルゴン希釈4%ホスフィン）
* **最大制御流量（フルスケール）**：250 CCM（sccm）
* **流量制御範囲**：F.S.（フルスケール）の 2% 〜 100%
* **流量精度**：±1.0% F.S.
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答速度**：約2秒以内（全閉から設定流量到達まで）
* **動作差圧範囲**：50 kPa 〜 300 kPa
* **耐圧**：1.0 MPa (G)
* **外部リーク量**：1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec (He) 以下
* **制御バルブ動作**：ノーマリークローズ（N.C. / 電源OFF時閉）
* **制御信号**：アナログ 0 〜 5 VDC （流量設定および流量出力）
* **駆動電源**：+15 VDC ±5% (約100mA) / -15 VDC ±5% (約200mA)
* **電気コネクタ**：D-sub 9ピン（または15ピン ※仕様により異なるため要現物確認）
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや各種研究開発用装置において、ガスの質量流量を極めて正確に測定・制御する熱式質量流量制御装置です。
センサー部で検出した質量流量値を元に、内蔵された高性能ソレノイドバルブを高速でフィードバック制御することにより、プロセスの安定性を高めます。本個体は、半導体のドーピング用途などに用いられる特殊ガス「4% PH3/Ar（アルゴン希釈4%ホスフィン）」に対応し、最大流量「250CCM（sccm）」の精密制御用にキャリブレーション（調整）されています。
アナログ信号（0〜5 VDC）による入出力インターフェースに対応しており、既存のアナログ制御システムや真空排気ラインへの組み込み、リプレイスがスムーズに行えます。高信頼性の熱式センサー技術により、経時変化が少なく長期間にわたり安定したガス流量供給が可能な産業用コンポーネントです。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**：4% PH3 / Ar （アルゴン希釈4%ホスフィン）
* **最大制御流量（フルスケール）**：250 CCM（sccm）
* **流量制御範囲**：F.S.（フルスケール）の 2% 〜 100%
* **流量精度**：±1.0% F.S.
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答速度**：約2秒以内（全閉から設定流量到達まで）
* **動作差圧範囲**：50 kPa 〜 300 kPa
* **耐圧**：1.0 MPa (G)
* **外部リーク量**：1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec (He) 以下
* **制御バルブ動作**：ノーマリークローズ（N.C. / 電源OFF時閉）
* **制御信号**：アナログ 0 〜 5 VDC （流量設定および流量出力）
* **駆動電源**：+15 VDC ±5% (約100mA) / -15 VDC ±5% (約200mA)
* **電気コネクタ**：D-sub 9ピン（または15ピン ※仕様により異なるため要現物確認）