中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-770ACのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや研究開発分野において確かな実績を持つ、アナログ制御方式の熱式マスフローコントローラです。バルブ機構には、電源遮断時や緊急時に自動的に流路を閉じる安全設計の「ノーマリークローズ（常時閉）」仕様を採用しています。ガスとの接触部およびシール材には、密閉性に優れたエラストマー（フッ素ゴム等）シールが用いられており、不活性ガスであるアルゴン（Ar）の精密な流量管理に最適化されています。

本個体はアルゴンガス専用として調整されており、最大300SCCM（標準状態における毎分ミリリットルと同等）までの流量を高精度に制御可能です。入出力信号は0〜5VDCのアナログ仕様に対応しており、既存システムへの組み込みや、シンプルな制御系でのセットアップが容易です。安定した再現性と確かな応答性を備えており、各種実験装置のガス供給ライン構築や、既存設備のメンテナンス・リプレイス用として安定したパフォーマンスを発揮します。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: アルゴン（Ar）
* **最大流量レンジ**: 300 SCCM
* **バルブ動作仕様**: ノーマリークローズ（常時閉 / NC）
* **シール構造**: エラストマーシール（フッ素ゴム等）
* **制御方式**: アナログ制御
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC
* **本体外形寸法**: W115 × D35 × H130 mm
* **流量精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下
* **動作差圧**: 0.05 〜 0.3 MPa
* **耐圧**: 1.0 MPa