中古機 マスフローコントローラー（MFC） エドワーズ製、型式825のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業・研究開発におけるガス流量の精密な制御に適した、信頼性の高い熱式質量流量コントローラー（MFC）です。内部に搭載された高精度な熱式流量センサーと電磁式コントロールバルブの組み合わせにより、一次側の圧力変動や温度変化に左右されない、極めて安定した質量流量制御を実現します。

対応ガスはAr（アルゴン）に調整されており、最大50 SCCMという微小流量域における高精度なガス供給が可能です。筐体サイズはW130mm×D25mm×H160mmとコンパクトに設計されており、限られたスペースのガスパネル内や各種装置内への組み込みが容易です。汎用性の高いアナログ入出力インターフェースに対応しているため、既存の測定・制御システムへの統合もスムーズに行えます。プロセスガスの微量かつ厳密な制御を求める実験設備や生産ラインに最適な機器です。


【AIによる参考仕様】
- 対象ガス：Ar（アルゴン）
- 最大流量レンジ：50 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）
- 流量制御範囲：2% 〜 100% F.S.（フルスケール）
- 制御方式：熱式質量流量制御方式
- 精度：±1.0% F.S.
- 再現性：±0.2% F.S.
- 応答時間：2.0秒以下（代表値）
- 動作差圧範囲：約 50 kPa 〜 300 kPa
- 最大耐圧：1.0 MPa
- 動作温度範囲：5℃ 〜 50℃
- 外部リークレート：1.0 × 10^-9 Pa・m3/sec（He）以下
- 入出力信号：0 〜 5 VDC
- 駆動電源：±15 VDC（許容電圧範囲 ±5%）
- 外形寸法：W130 mm × D25 mm × H160 mm（継手・コネクタ等の突起部を除く）