中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:流量：500SCCM ガス：AR
仕様:流量：500SCCM ガス：AR
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や各種真空プロセスにおいて、アルゴン（Ar）ガスの流量を高精度に制御するためのアナログ式マスフローコントローラーです。フルスケール流量は500 SCCMに設定されており、微小流量域から定格流量までの幅広い範囲で安定したガス供給を実現します。
流量の制御および出力信号には標準的な0～5 VDCを採用しており、既存の設備やPLC等の制御機器との連携が容易な設計となっています。駆動電源には±15 VDCが必要です。応答速度は設定値の±2%以内に到達するまで約1秒と迅速であり、ガス供給の立ち上がりや流量変更時の遅延を最小限に抑え、プロセスの安定化に寄与します。
流量精度はフルスケールに対して±1.0%、再現性は±0.2%の数値を持ち、厳密な流量管理が求められる環境下でも高い信頼性を発揮します。内部のシール機構にはエラストマー（フッ素ゴム等）を採用しており、一般的なガスラインにおいて十分な気密性（リークレート 1×10^-8 Pa・m^3/s以下）を維持します。また、内部バルブは非通電時に自動的に閉鎖するノーマリークローズ仕様となっており、停電時やシステム異常時におけるガスの流出を防ぐ安全確保にも配慮された構造です。
【AIによる参考仕様】
対象ガス：Ar（アルゴン）
フルスケール流量：500 SCCM
流量制御範囲：2 ～ 100% F.S.
流量精度：±1.0% F.S.
再現性：±0.2% F.S.
応答速度：約1秒（フルスケールの±2%到達時間）
入力設定信号：0 ～ 5 VDC
流量出力信号：0 ～ 5 VDC
駆動電源：±15 VDC（許容変動幅 ±5%）
動作温度範囲：5 ～ 45 ℃
最高使用圧力：0.3 MPa(G)
耐圧：1.0 MPa(G)
バルブ動作：ノーマリークローズ（非通電時閉）
シール材質：エラストマー（フッ素ゴム等）
接ガス部主要材質：SUS316L、磁性ステンレス鋼、PTFE
本装置は、半導体製造や各種真空プロセスにおいて、アルゴン（Ar）ガスの流量を高精度に制御するためのアナログ式マスフローコントローラーです。フルスケール流量は500 SCCMに設定されており、微小流量域から定格流量までの幅広い範囲で安定したガス供給を実現します。
流量の制御および出力信号には標準的な0～5 VDCを採用しており、既存の設備やPLC等の制御機器との連携が容易な設計となっています。駆動電源には±15 VDCが必要です。応答速度は設定値の±2%以内に到達するまで約1秒と迅速であり、ガス供給の立ち上がりや流量変更時の遅延を最小限に抑え、プロセスの安定化に寄与します。
流量精度はフルスケールに対して±1.0%、再現性は±0.2%の数値を持ち、厳密な流量管理が求められる環境下でも高い信頼性を発揮します。内部のシール機構にはエラストマー（フッ素ゴム等）を採用しており、一般的なガスラインにおいて十分な気密性（リークレート 1×10^-8 Pa・m^3/s以下）を維持します。また、内部バルブは非通電時に自動的に閉鎖するノーマリークローズ仕様となっており、停電時やシステム異常時におけるガスの流出を防ぐ安全確保にも配慮された構造です。
【AIによる参考仕様】
対象ガス：Ar（アルゴン）
フルスケール流量：500 SCCM
流量制御範囲：2 ～ 100% F.S.
流量精度：±1.0% F.S.
再現性：±0.2% F.S.
応答速度：約1秒（フルスケールの±2%到達時間）
入力設定信号：0 ～ 5 VDC
流量出力信号：0 ～ 5 VDC
駆動電源：±15 VDC（許容変動幅 ±5%）
動作温度範囲：5 ～ 45 ℃
最高使用圧力：0.3 MPa(G)
耐圧：1.0 MPa(G)
バルブ動作：ノーマリークローズ（非通電時閉）
シール材質：エラストマー（フッ素ゴム等）
接ガス部主要材質：SUS316L、磁性ステンレス鋼、PTFE