中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-761
年式表記：
仕様:ガスN2 流量10SLM W150 D40 H180
仕様:ガスN2 流量10SLM W150 D40 H180
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を精密に測定・制御するアナログ式の熱式マスフローコントローラー（MFC）です。半導体プロセスや各種実験装置、真空装置など、高精度な気体制御が必要な環境で広く採用されてきた実績を持ちます。
本個体は、窒素（N₂）ガス専用として、最大流量10 SLM（Standard Liters per Minute）の仕様で構成されています。内部に搭載された熱式センサーがガスの質量流量を直接検知し、電磁式バルブを高速でフィードバック制御することで、上流側の圧力変動に左右されない安定したガス供給を実現します。駆動電源には一般的な±15VDC、制御およびモニター信号には0〜5VDCのアナログインターフェースを使用。堅牢な金属筐体を採用し、W150mm×D40mm×H180mmのコンパクトな設計により、既存システムへの組み込みやリプレイスも容易です。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** N₂（窒素）
* **最大流量レンジ：** 10 SLM
* **外形寸法：** 幅 150 mm × 奥行 40 mm × 高さ 180 mm（継手等の突起部を含む）
* **制御方式：** 熱式質量流量センサー、電磁駆動式クローズドループ制御
* **バルブ動作：** 常閉（ノーマルクローズ）
* **外部制御信号（入力）：** 0 〜 5 VDC
* **流量出力信号（モニター）：** 0 〜 5 VDC
* **駆動電源：** ±15 VDC ±5%
* **流量精度：** ±1.0% F.S.
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 約 2 秒以内
* **耐圧（最大使用圧力）：** 1.0 MPa
本装置は、気体の質量流量を精密に測定・制御するアナログ式の熱式マスフローコントローラー（MFC）です。半導体プロセスや各種実験装置、真空装置など、高精度な気体制御が必要な環境で広く採用されてきた実績を持ちます。
本個体は、窒素（N₂）ガス専用として、最大流量10 SLM（Standard Liters per Minute）の仕様で構成されています。内部に搭載された熱式センサーがガスの質量流量を直接検知し、電磁式バルブを高速でフィードバック制御することで、上流側の圧力変動に左右されない安定したガス供給を実現します。駆動電源には一般的な±15VDC、制御およびモニター信号には0〜5VDCのアナログインターフェースを使用。堅牢な金属筐体を採用し、W150mm×D40mm×H180mmのコンパクトな設計により、既存システムへの組み込みやリプレイスも容易です。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** N₂（窒素）
* **最大流量レンジ：** 10 SLM
* **外形寸法：** 幅 150 mm × 奥行 40 mm × 高さ 180 mm（継手等の突起部を含む）
* **制御方式：** 熱式質量流量センサー、電磁駆動式クローズドループ制御
* **バルブ動作：** 常閉（ノーマルクローズ）
* **外部制御信号（入力）：** 0 〜 5 VDC
* **流量出力信号（モニター）：** 0 〜 5 VDC
* **駆動電源：** ±15 VDC ±5%
* **流量精度：** ±1.0% F.S.
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 約 2 秒以内
* **耐圧（最大使用圧力）：** 1.0 MPa