中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-781Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業プロセスにおいて、気体の流量を極めて高い精度で計測・制御するための熱式質量流量コントローラ（マスフローコントローラ）です。今回は「酸素（O2）」ガス仕様、最大流量「20 SLM（Standard Liters per Minute）」のモデルとなります。

熱式センサ技術と高応答性のコントロールバルブを組み合わせることで、一次側の圧力変動に対して影響を受けにくく、安定した流量供給を実現します。外形寸法は、幅150mm、奥行40mm、高さ155mmとコンパクトに設計されており、既存のガスパネルや装置内配管スペースへの組み込み、レイアウト変更にも柔軟に対応可能です。アナログ制御方式による確実な動作実績を持ち、研究開発用途から生産ラインまで、安定したガス流量制御が求められる環境に適しています。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** 酸素（O2）
* **最大制御流量：** 20 SLM
* **外形寸法：** 幅 150 mm × 奥行 40 mm × 高さ 155 mm
* **センサ方式：** 熱式質量流量センサ
* **バルブ動作：** 常時閉（Normally Closed）または常時開（Normally Open）（※標準的な同シリーズは常時閉仕様が多いですが、詳細なバルブ動作タイプは現物での確認を推奨します）
* **電気接続（コネクタ形状）：** D-sub 20ピン（またはカードエッジコネクタ仕様、同系統シリーズの標準仕様に基づく）
* **動作電源：** ±15 VDC（標準的なアナログMFC仕様）
* **入出力信号：** 0～5 VDC（流量設定・流量出力）