中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-421
年式表記：
仕様:ガス:SF6 流量:200SCCM
仕様:ガス:SF6 流量:200SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種工業・研究開発分野において、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。ガス種「SF6（六フッ化硫黄）」、フルスケール流量「200SCCM」の仕様で調整されており、不活性ガスや腐食性ガスの精密な流量管理に適しています。
内部には、高精度な熱式流量センサー、流路を分岐させるバイパス、および電磁式のコントロールバルブが搭載されています。外部から入力される流量設定信号に対し、センサーで検出した実流量が設定値と一致するように、バルブの開度を高速かつ連続的に自動制御します。アナログインターフェースを採用しており、±15VDC電源と0-5VDCの入出力信号による制御が可能なため、既存のシステムへの組み込みやリプレイスがスムーズに行えます。
【AIによる参考仕様】
・対象ガス：SF6（六フッ化硫黄）
・最大制御流量（フルスケール）：200 SCCM
・流量制御範囲：2%〜100% F.S.
・流量測定精度：±1.0% F.S.以内
・再現性：±0.2% F.S.以内
・応答速度：約2秒以下（全域）
・動作差圧範囲：98〜294 kPa
・耐圧：980 kPa (G)
・外部リーク量：1×10⁻¹¹ Pa・m³/s (He) 以下
・動作温度範囲：5〜45℃（精度保証範囲：15〜35℃）
・接ガス部材質：SUS316L、フッ素ゴム等（※型式・オプションによる）
・バルブ形式：ノーマリークローズ（N.C.：無通電時閉）
・制御信号（入力/出力）：0〜5 VDC
・駆動電源：±15 VDC ±5%（推奨電流容量：+15V 100mA、-15V 150mA）
・電気コネクタ：D-sub 9ピン（オス）
・ガス接続継手：1/4インチ VCR相当（※実機の継手形状は必ず現物をご確認ください）
本装置は、半導体製造プロセスや各種工業・研究開発分野において、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。ガス種「SF6（六フッ化硫黄）」、フルスケール流量「200SCCM」の仕様で調整されており、不活性ガスや腐食性ガスの精密な流量管理に適しています。
内部には、高精度な熱式流量センサー、流路を分岐させるバイパス、および電磁式のコントロールバルブが搭載されています。外部から入力される流量設定信号に対し、センサーで検出した実流量が設定値と一致するように、バルブの開度を高速かつ連続的に自動制御します。アナログインターフェースを採用しており、±15VDC電源と0-5VDCの入出力信号による制御が可能なため、既存のシステムへの組み込みやリプレイスがスムーズに行えます。
【AIによる参考仕様】
・対象ガス：SF6（六フッ化硫黄）
・最大制御流量（フルスケール）：200 SCCM
・流量制御範囲：2%〜100% F.S.
・流量測定精度：±1.0% F.S.以内
・再現性：±0.2% F.S.以内
・応答速度：約2秒以下（全域）
・動作差圧範囲：98〜294 kPa
・耐圧：980 kPa (G)
・外部リーク量：1×10⁻¹¹ Pa・m³/s (He) 以下
・動作温度範囲：5〜45℃（精度保証範囲：15〜35℃）
・接ガス部材質：SUS316L、フッ素ゴム等（※型式・オプションによる）
・バルブ形式：ノーマリークローズ（N.C.：無通電時閉）
・制御信号（入力/出力）：0〜5 VDC
・駆動電源：±15 VDC ±5%（推奨電流容量：+15V 100mA、-15V 150mA）
・電気コネクタ：D-sub 9ピン（オス）
・ガス接続継手：1/4インチ VCR相当（※実機の継手形状は必ず現物をご確認ください）