中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-781C
年式表記：
仕様:ガスO2 流量20SLM W150 D40 H155
仕様:ガスO2 流量20SLM W150 D40 H155
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種工業・研究分野において、気体の質量流量を正確に測定・制御するための熱式マスフローコントローラー（MFC）です。センサー部、バイパス部、コントロールバルブ、および制御基板がコンパクトに一体化されており、供給側の圧力や温度の変化に左右されず、安定したガス流量を維持します。
本個体は、酸素ガス（O2）専用として校正されており、最大20 SLM（Standard Liters per Minute）の中・大流量レンジに対応しています。外部からのアナログ信号（0〜5 VDC）によって流量設定を行い、同様に0〜5 VDCの流量出力信号によって現在の流量をリアルタイムでモニター可能です。バルブ形式は、電気信号の遮断時に流路を閉じる常閉（Normally Closed）仕様を基本としており、プロセスの安全性を確保します。長年にわたり信頼性の高いアナログ制御方式の定番として、各種実験設備や既存設備の保守・交換用として広く利用されています。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス:** O2（酸素）
* **最大制御流量:** 20 SLM
* **流量精度:** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **応答速度:** 約2〜4秒（設定値の98%に達する時間）
* **動作差圧範囲:** 約0.1 MPa 〜 0.3 MPa
* **耐圧:** 最大約1.0 MPa
* **入出力信号:** 0〜5 VDC（流量設定および流量出力）
* **駆動電源:** ±15 VDC（+15V、-15Vの2系統供給）
* **電気コネクタ仕様:** D-sub 15ピン
* **外形寸法:** 幅（W）150 mm × 奥行（D）40 mm × 高さ（H）155 mm
本装置は、半導体製造プロセスや各種工業・研究分野において、気体の質量流量を正確に測定・制御するための熱式マスフローコントローラー（MFC）です。センサー部、バイパス部、コントロールバルブ、および制御基板がコンパクトに一体化されており、供給側の圧力や温度の変化に左右されず、安定したガス流量を維持します。
本個体は、酸素ガス（O2）専用として校正されており、最大20 SLM（Standard Liters per Minute）の中・大流量レンジに対応しています。外部からのアナログ信号（0〜5 VDC）によって流量設定を行い、同様に0〜5 VDCの流量出力信号によって現在の流量をリアルタイムでモニター可能です。バルブ形式は、電気信号の遮断時に流路を閉じる常閉（Normally Closed）仕様を基本としており、プロセスの安全性を確保します。長年にわたり信頼性の高いアナログ制御方式の定番として、各種実験設備や既存設備の保守・交換用として広く利用されています。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス:** O2（酸素）
* **最大制御流量:** 20 SLM
* **流量精度:** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **応答速度:** 約2〜4秒（設定値の98%に達する時間）
* **動作差圧範囲:** 約0.1 MPa 〜 0.3 MPa
* **耐圧:** 最大約1.0 MPa
* **入出力信号:** 0〜5 VDC（流量設定および流量出力）
* **駆動電源:** ±15 VDC（+15V、-15Vの2系統供給）
* **電気コネクタ仕様:** D-sub 15ピン
* **外形寸法:** 幅（W）150 mm × 奥行（D）40 mm × 高さ（H）155 mm