中古機 マスフローコントローラー（MFC） Unit製、型式UFC-1100のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や薄膜堆積プロセスなどの高度なガス制御を必要とする環境で広く採用されてきた、メタルシールタイプのアナログマスフローコントローラーです。
気密性と耐食性に極めて優れたメタルシール構造を採用しているため、安全管理が厳しく求められる特殊材料ガスの制御に適しています。
本個体は、半導体プロセスで多用されるシラン系ガスであるモノシラン（SiH4）用に調整されており、最大流量500 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までのガス流量を、高い再現性をもって精密に制御可能です。
内部には熱対流式流量センサと、応答性に優れた比例電磁弁を搭載しており、経時変化が少なく安定したプロセスガス制御を提供します。アナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定および出力モニターに対応しており、既存のアナログ制御システムや各種実験・製造装置への組み込み、リプレイスに最適な仕様となっています。

【AIによる参考仕様】
・対象ガス：モノシラン（SiH4）
・最大制御流量：500 SCCM
・シール構造：メタルシール（高気密・高クリーン仕様）
・流量精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
・直線性：±0.5% F.S.
・再現性：±0.15% F.S.
・応答時間：2.0秒以下（セットポイントの±2%以内への到達時間）
・動作差圧範囲：69 kPa 〜 275 kPa（10 〜 40 psid）
・耐圧：1.03 MPa（150 psig）
・外部リーク率：1.0 × 10⁻⁹ atm・cc/sec（He）以下
・制御入力信号：0 〜 5 VDC
・流量出力信号：0 〜 5 VDC
・駆動電源：±15 VDC（許容範囲 ±5%）
・接ガス部材質：ステンレス鋼、その他金属
・電気コネクタ：アナログ（カードエッジ端子またはD-subコネクタ ※個別仕様による）
・配管接続継手：1/4インチ VCR仕様

※上記仕様は同シリーズの標準的なカタログデータに基づく参考値です。中古機器の性質上、実機のコネクタピン配列や接続継手、校正状況などの詳細については、必ず現物の外観および銘板をご確認ください。