中古 マスフローコントローラー(MFC)
メーカー名
Tylan
型式FC-771C
年式表記:
仕様:ガスN2 流量20SLMW125 D34 H170
仕様:ガスN2 流量20SLMW125 D34 H170
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや各種産業用ガス制御において長年にわたり実績を持つ、アナログ制御方式の流量制御装置です。
窒素(N2)ガスに対応し、最大20 SLM(Standard Liters per Minute)の中・大流量域における正確なガス流量の測定および制御を可能にします。
駆動電源には標準的な±15 VDCを使用し、流量の設定入力および出力信号には0〜5 VDCのアナログ電圧信号を採用しています。電気配線用のコネクタには、信頼性の高い20ピンのカードエッジ端子(エッジコネクタ)が備えられており、既存のアナログ制御システムや評価設備、研究開発用途におけるリプレイス品として適しています。
外形寸法は幅125mm、奥行34mm、高さ170mmのコンパクト設計となっており、堅牢な金属筐体による高い耐久性を備えています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: 窒素(N2)
* **最大制御流量**: 20 SLM
* **制御方式**: アナログ方式
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC(消費電流:約±100mA以下)
* **電気コネクタ**: 20ピン カードエッジコネクタ
* **外形寸法**: 幅 125 mm × 奥行 34 mm × 高さ 170 mm
* **精度**: ±1.0% F.S.(フルスケール)
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **動作圧力範囲**: 約0.1 MPa 〜 0.3 MPa(一般的な推奨一次側圧力)
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや各種産業用ガス制御において長年にわたり実績を持つ、アナログ制御方式の流量制御装置です。
窒素(N2)ガスに対応し、最大20 SLM(Standard Liters per Minute)の中・大流量域における正確なガス流量の測定および制御を可能にします。
駆動電源には標準的な±15 VDCを使用し、流量の設定入力および出力信号には0〜5 VDCのアナログ電圧信号を採用しています。電気配線用のコネクタには、信頼性の高い20ピンのカードエッジ端子(エッジコネクタ)が備えられており、既存のアナログ制御システムや評価設備、研究開発用途におけるリプレイス品として適しています。
外形寸法は幅125mm、奥行34mm、高さ170mmのコンパクト設計となっており、堅牢な金属筐体による高い耐久性を備えています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: 窒素(N2)
* **最大制御流量**: 20 SLM
* **制御方式**: アナログ方式
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC(消費電流:約±100mA以下)
* **電気コネクタ**: 20ピン カードエッジコネクタ
* **外形寸法**: 幅 125 mm × 奥行 34 mm × 高さ 170 mm
* **精度**: ±1.0% F.S.(フルスケール)
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **動作圧力範囲**: 約0.1 MPa 〜 0.3 MPa(一般的な推奨一次側圧力)
