中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-770C
年式表記：
仕様:ガスO2 流量500SM W125 D31 H142
仕様:ガスO2 流量500SM W125 D31 H142
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や各種実験用設備において広く稼働実績を持つ、アナログ制御方式の熱式質量流量コントローラ（MFC）です。ガス流入に伴う熱の移動量を検知するセンサー技術と、応答性に優れたソレノイドバルブを一体化しており、一次側の圧力変動や周囲の温度変化に影響を受けることなく、極めて安定したガス流量制御を実現します。
本個体は、プロセスガスとして酸素（O₂）に対応し、最大流量500 sccm（500 sml/min）の精密な制御が可能です。耐久性と信頼性に優れたクラシックなアナログ設計であり、既存システムの補修用パーツや、研究開発・評価試験用システムなどのガス供給ライン構築に適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: O₂（酸素）
* **最大制御流量**: 500 sccm（500 sml/min）
* **制御範囲**: 2% 〜 100% F.S.（フルスケール）
* **精度**: ±1.0% F.S.
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 約2〜4秒（設定変更後、流量の±2%以内に到達する時間）
* **バルブ動作方式**: 常閉型（Normally Closed / 電源OFF時に閉）
* **動作差圧範囲**: 0.05 MPa 〜 0.30 MPa
* **動作温度範囲**: 5℃ 〜 50℃
* **シール材質**: エラストマー（フッ素ゴム等）
* **電源仕様**: ±15 VDC
* **制御・出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **外形寸法**: 幅 125 mm × 奥行 31 mm × 高さ 142 mm
本装置は、半導体製造や各種実験用設備において広く稼働実績を持つ、アナログ制御方式の熱式質量流量コントローラ（MFC）です。ガス流入に伴う熱の移動量を検知するセンサー技術と、応答性に優れたソレノイドバルブを一体化しており、一次側の圧力変動や周囲の温度変化に影響を受けることなく、極めて安定したガス流量制御を実現します。
本個体は、プロセスガスとして酸素（O₂）に対応し、最大流量500 sccm（500 sml/min）の精密な制御が可能です。耐久性と信頼性に優れたクラシックなアナログ設計であり、既存システムの補修用パーツや、研究開発・評価試験用システムなどのガス供給ライン構築に適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: O₂（酸素）
* **最大制御流量**: 500 sccm（500 sml/min）
* **制御範囲**: 2% 〜 100% F.S.（フルスケール）
* **精度**: ±1.0% F.S.
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 約2〜4秒（設定変更後、流量の±2%以内に到達する時間）
* **バルブ動作方式**: 常閉型（Normally Closed / 電源OFF時に閉）
* **動作差圧範囲**: 0.05 MPa 〜 0.30 MPa
* **動作温度範囲**: 5℃ 〜 50℃
* **シール材質**: エラストマー（フッ素ゴム等）
* **電源仕様**: ±15 VDC
* **制御・出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **外形寸法**: 幅 125 mm × 奥行 31 mm × 高さ 142 mm