中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-780Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において長年の実績を持つ、高精度なアナログ式マスフローコントローラーです。
本モデルは、優れた気密性と信頼性を誇るメタルシール構造を採用しており、外部へのガス漏洩を極限まで防ぐ高い安全性を備えています。今回は半導体エッチング等に用いられるSF6（六フッ化硫黄）ガス仕様として調整されており、フルスケール10 SCCMという極微小流量の精密制御に対応します。
応答性能に優れており、設定値の±2%以内に到達するまでの応答時間は代表値で2.0秒以下を達成。アナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定および出力モニターに対応しており、既存のアナログ制御システムやガスラインへの統合・リプレイスが容易です。プロセスガスの微量かつ安定した供給に最適な高信頼性デバイスです。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**：SF6（六フッ化硫黄）
* **最大制御流量（F.S.）**：10 SCCM
* **シール構造**：メタルシール
* **接ガス部材質**：316Lステンレス鋼、SUS316、ニッケル等
* **流量制御精度**：±1.0% F.S.
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答時間**：2.0秒以下（設定値の±2.0%以内への到達時間）
* **動作差圧範囲**：70 kPa ～ 290 kPa
* **最大動作圧力**：1.0 MPa
* **耐圧力**：3.0 MPa
* **外部リークレート**：1.0 × 10⁻⁹ atm・cc/sec（He）以下
* **動作周囲温度範囲**：5℃ ～ 50℃
* **制御信号（入力／出力）**：0 ～ 5 VDC
* **動作電源**：±15 VDC (±5%)
* **バルブ動作型式**：ノーマリークローズ（常時閉）
* **電気コネクタ**：D-sub 9ピン（または15ピン）
* **配管継手**：1/4インチ VCR（または相当品）