中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-260Jのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を精密に測定・制御する、熱式（サーマル）センサーを搭載したアナログ方式のマスフローコントローラーです。窒素（N2）ガス用に校正されており、最大流量100 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までの微小流量制御に対応しています。

内部は、熱式流量センサー、流路を分岐させる層流バイパス、電磁バルブ、およびこれらを制御するアナログ電子回路から構成されています。流路を流れるガスの質量流量をセンサーが検知し、外部から入力される0〜5 VDCの流量設定信号（セットポイント）と一致するように電磁バルブの開度を高速で自動調整（フィードバック制御）します。これにより、一次側（供給圧）や二次側（負荷圧）の圧力変動が生じた場合でも、影響を受けることなく一定の質量流量を維持することが可能です。

半導体製造装置のガス供給系をはじめ、研究開発用のガス導入ライン、各種分析装置の雰囲気制御など、高い再現性と長期安定性が求められるプロセスで幅広く使用されている標準的な仕様のモデルです。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: 窒素（N2）
* **最大流量レンジ**: 100 SCCM
* **流量制御範囲**: 2% 〜 100% F.S.（2 〜 100 SCCM）
* **流量設定信号（入力）**: 0 〜 5 VDC
* **流量出力信号（出力）**: 0 〜 5 VDC
* **流量制御精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2.0秒以下
* **適応動作差圧範囲**: 49 kPa 〜 294 kPa
* **耐圧**: 1.0 MPa
* **動作温度範囲**: 5℃ 〜 50℃
* **外部リークレート**: 1 × 10⁻⁸ atm・cc/sec He 以下
* **接ガス部材質**: SUS316L、SUS316、フッ素ゴム（エラストマー）
* **駆動電源**: DC ±15V (±5%)
* **電気コネクタ**: D-sub 9ピン（プラグ）

※上記仕様は、メーカー公開の該当シリーズの標準的なデータに基づく参考値です。中古機器の特性上、個別のオプション対応や現物のコネクタ形状、校正状態については実機確認が必要です。