中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-410
年式表記：
仕様:ガス:1%B2H6/Ar 流量:1LM
仕様:ガス:1%B2H6/Ar 流量:1LM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業分野で広く使用されている、高精度な熱式質量流量コントローラ（マスフローコントローラー）です。センサー部には、安定性と応答性に優れた独自の熱式センサーを搭載しており、温度変化や環境変動に対しても安定した流量測定・制御を実現します。制御バルブには、微少な流量から実用流量までを緻密に調整可能な高性能ソレノイドアクチュエータを採用。アナログ（0-5V DC）による外部制御に対応し、既存のシステムへの組み込みやリプレイスが容易です。本個体は、特殊ガスである「1% B2H6/Ar（ジボラン/アルゴン希釈ガス）」仕様として調整されており、フルスケール流量は1 LM（L/min相当）となっています。クリーンルーム内での精密なガス流量管理に最適な一台です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス仕様：** 1% B2H6 / Ar（ジボラン 1% / アルゴンバランス）
* **フルスケール流量：** 1 LM（1 L/min / 1 SLM相当）
* **流量制御範囲：** フルスケールの2%～100%
* **精度（再現性）：** ±0.2% F.S.（フルスケール）以内
* **応答速度：** 約2秒以下（0%→100%ステップ応答時）
* **バルブ形式：** 常閉（Normally Closed：無通電時閉）
* **制御信号（アナログ）：**
* 流量設定信号：0～5V DC
* 流量出力信号：0～5V DC
* **動作温度範囲：** 5～50℃（結露なきこと）
* **最大動作圧力：** 300 kPa（G）
* **耐圧性：** 1 MPa（G）
* **電気接続継手：** D-sub 9ピン（ピンアサインは標準的なアナログインターフェースに準拠）
* **ガス配管接続継手：** 1/4インチ（継手形状は標準的なSwagelok等に対応）
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業分野で広く使用されている、高精度な熱式質量流量コントローラ（マスフローコントローラー）です。センサー部には、安定性と応答性に優れた独自の熱式センサーを搭載しており、温度変化や環境変動に対しても安定した流量測定・制御を実現します。制御バルブには、微少な流量から実用流量までを緻密に調整可能な高性能ソレノイドアクチュエータを採用。アナログ（0-5V DC）による外部制御に対応し、既存のシステムへの組み込みやリプレイスが容易です。本個体は、特殊ガスである「1% B2H6/Ar（ジボラン/アルゴン希釈ガス）」仕様として調整されており、フルスケール流量は1 LM（L/min相当）となっています。クリーンルーム内での精密なガス流量管理に最適な一台です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス仕様：** 1% B2H6 / Ar（ジボラン 1% / アルゴンバランス）
* **フルスケール流量：** 1 LM（1 L/min / 1 SLM相当）
* **流量制御範囲：** フルスケールの2%～100%
* **精度（再現性）：** ±0.2% F.S.（フルスケール）以内
* **応答速度：** 約2秒以下（0%→100%ステップ応答時）
* **バルブ形式：** 常閉（Normally Closed：無通電時閉）
* **制御信号（アナログ）：**
* 流量設定信号：0～5V DC
* 流量出力信号：0～5V DC
* **動作温度範囲：** 5～50℃（結露なきこと）
* **最大動作圧力：** 300 kPa（G）
* **耐圧性：** 1 MPa（G）
* **電気接続継手：** D-sub 9ピン（ピンアサインは標準的なアナログインターフェースに準拠）
* **ガス配管接続継手：** 1/4インチ（継手形状は標準的なSwagelok等に対応）