中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-260
年式表記：
仕様:ガスHCl 流量1SLM W130 D25 H110
仕様:ガスHCl 流量1SLM W130 D25 H110
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや研究開発における気相成長、エッチングなどの工程において、気体の質量流量を精密に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラーです。特に腐食性の極めて高い塩化水素（HCl）ガスに対応した専用仕様となっており、接ガス部には耐食性に優れた金属材料やシール材が採用されています。制御信号および流量出力信号には業界の標準的なアナログ方式（0〜5 VDC）を採用しており、既存のアナログ式電源駆動ユニットや制御システムへの組み込みが容易です。最大流量は1 SLM（標準状態において毎分1リットル）に調整されており、微小かつ安定したガス流量の制御を必要とするプロセスに最適です。幅130mm、奥行25mm、高さ110mmのコンパクトな筐体設計により、ガスパネルや装置内部の限られたスペースに効率よく配置できます。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: 塩化水素（HCl）
* **最大制御流量**: 1 SLM（Standard Liters per Minute）
* **入出力信号**: 0〜5 VDC（アナログ）
* **駆動電源**: ±15 VDC (±5%)
* **流量制御精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 約2秒以内（セットポイントの±2%到達時間）
* **最大動作圧力**: 150 psig（約1.03 MPa）
* **動作差圧範囲**: 10〜40 psid（約70〜275 kPa）
* **外部リークレート**: 1 × 10⁻⁹ atm cc/sec (He) 以下
* **バルブ動作**: 常時閉（Normally Closed）※一般仕様に基づく参考値
* **外形寸法**: 幅130 mm × 奥行25 mm × 高さ110 mm（継手端面等を含む、実測値）
本装置は、半導体製造プロセスや研究開発における気相成長、エッチングなどの工程において、気体の質量流量を精密に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラーです。特に腐食性の極めて高い塩化水素（HCl）ガスに対応した専用仕様となっており、接ガス部には耐食性に優れた金属材料やシール材が採用されています。制御信号および流量出力信号には業界の標準的なアナログ方式（0〜5 VDC）を採用しており、既存のアナログ式電源駆動ユニットや制御システムへの組み込みが容易です。最大流量は1 SLM（標準状態において毎分1リットル）に調整されており、微小かつ安定したガス流量の制御を必要とするプロセスに最適です。幅130mm、奥行25mm、高さ110mmのコンパクトな筐体設計により、ガスパネルや装置内部の限られたスペースに効率よく配置できます。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: 塩化水素（HCl）
* **最大制御流量**: 1 SLM（Standard Liters per Minute）
* **入出力信号**: 0〜5 VDC（アナログ）
* **駆動電源**: ±15 VDC (±5%)
* **流量制御精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 約2秒以内（セットポイントの±2%到達時間）
* **最大動作圧力**: 150 psig（約1.03 MPa）
* **動作差圧範囲**: 10〜40 psid（約70〜275 kPa）
* **外部リークレート**: 1 × 10⁻⁹ atm cc/sec (He) 以下
* **バルブ動作**: 常時閉（Normally Closed）※一般仕様に基づく参考値
* **外形寸法**: 幅130 mm × 奥行25 mm × 高さ110 mm（継手端面等を含む、実測値）