中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Unit
型式UFC-1100
年式表記：
仕様:ガス:HE 流量:20SCCM
仕様:ガス:HE 流量:20SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業・研究開発において、ガスの質量流量を精密に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラーです。測定原理に熱式センサーを採用しており、周囲の温度や圧力の変動に影響されることなく、常に安定した質量流量の制御を可能にします。
本個体は、対象ガスがヘリウム（He）、最大制御流量が20 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）として校正されています。ヘリウムのような熱伝導率が高く、極めて漏洩しやすい不活性ガスに対しても、高精度かつ高い再現性をもって微小流量を制御します。制御信号には標準的な0〜5 VDCのアナログ入出力に対応し、±15 VDCの外部電源で動作します。アナログ制御方式ならではのシンプルなシステム構成と、長年にわたり産業界で広く使用されてきた確かな信頼性を備えており、既存設備の交換用メンテナンスパーツや、実験・評価用セットアップの流量制御部として適しています。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: ヘリウム（He）
* **フルスケール流量**: 20 SCCM
* **流量制御範囲**: フルスケールの2% 〜 100%（0.4 〜 20 SCCM）
* **精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.15% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下（設定値の±2%以内に到達する時間）
* **動作温度範囲**: 5 〜 50℃
* **最大動作圧力**: 500 psi（約3.45 MPa）
* **必要動作差圧**: 10 〜 40 psid（約70 〜 275 kPa）
* **外部リーク量**: 1 × 10⁻⁹ atm cc/sec（He）以下
* **入力/出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **電源仕様**: ±15 VDC
* **電気コネクタ**: 20ピン カードエッジ端子（※標準仕様に基づく情報です。実機のコネクタ形状を優先してください）
* **接ガス部材質**: ステンレス鋼、フッ素ゴム（Viton等）
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業・研究開発において、ガスの質量流量を精密に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラーです。測定原理に熱式センサーを採用しており、周囲の温度や圧力の変動に影響されることなく、常に安定した質量流量の制御を可能にします。
本個体は、対象ガスがヘリウム（He）、最大制御流量が20 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）として校正されています。ヘリウムのような熱伝導率が高く、極めて漏洩しやすい不活性ガスに対しても、高精度かつ高い再現性をもって微小流量を制御します。制御信号には標準的な0〜5 VDCのアナログ入出力に対応し、±15 VDCの外部電源で動作します。アナログ制御方式ならではのシンプルなシステム構成と、長年にわたり産業界で広く使用されてきた確かな信頼性を備えており、既存設備の交換用メンテナンスパーツや、実験・評価用セットアップの流量制御部として適しています。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: ヘリウム（He）
* **フルスケール流量**: 20 SCCM
* **流量制御範囲**: フルスケールの2% 〜 100%（0.4 〜 20 SCCM）
* **精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.15% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下（設定値の±2%以内に到達する時間）
* **動作温度範囲**: 5 〜 50℃
* **最大動作圧力**: 500 psi（約3.45 MPa）
* **必要動作差圧**: 10 〜 40 psid（約70 〜 275 kPa）
* **外部リーク量**: 1 × 10⁻⁹ atm cc/sec（He）以下
* **入力/出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **電源仕様**: ±15 VDC
* **電気コネクタ**: 20ピン カードエッジ端子（※標準仕様に基づく情報です。実機のコネクタ形状を優先してください）
* **接ガス部材質**: ステンレス鋼、フッ素ゴム（Viton等）