中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-510のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種工業用途、研究開発におけるガス供給ラインで広く利用されているアナログ制御方式のマスフローコントローラーです。周囲の温度や供給圧力の変動に左右されることなく、気体の質量流量を高い精度で測定・制御します。本個体はN2（窒素ガス）専用に校正されており、フルスケール流量は20 LM（L/min）です。流量制御には、応答性能に優れたソレノイドバルブと信頼性の高い熱式質量流量センサーが採用されています。アナログの外部制御信号（0〜5 VDC）によって流量設定と出力モニターを行う仕組みになっており、既存のアナログ制御システムや手動設定ユニットへの組み込みが容易な仕様です。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**：N2（窒素）
* **最大制御流量（フルスケール）**：20 LM (L/min)
* **センサー方式**：熱式質量流量センサー
* **流量制御範囲**：2% 〜 100% F.S. (0.4 〜 20 LM)
* **流量精度**：±1.0% F.S.
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答速度**：2秒以下（目標流量の98%に達するまでの時間）
* **制御バルブ形式**：ソレノイド駆動バルブ（ノーマリークローズ：N.C.）
* **動作差圧範囲**：100 〜 300 kPa
* **耐圧**：1.0 MPa (G)
* **動作環境温度**：5 〜 45℃
* **外部リーク量**：1 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec (He) 以下
* **制御入力信号（流量設定）**：0 〜 5 VDC
* **流量出力信号（モニター）**：0 〜 5 VDC
* **必要電源**：DC ±15V (±5%)
* **電気コネクタ**：D-sub 9ピン
* **主な接ガス部材質**：SUS316L、フッ素ゴム（シール部）
* **継手仕様**：1/4インチ（※現物の接続形状は実機写真をご確認ください）