中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-780のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種理化学実験において広く使用されている熱式質量流量コントローラ（マスフローコントローラー）です。測定および制御ガス種はアンモニア（NH3）、最大制御流量は1SLM（Standard Liter per Minute）に設定されています。
ガス流量の測定には、ガスの質量流量に比例した熱移動を検出する熱式センサー方式を採用しており、温度や圧力の変動に影響されにくい安定した測定が可能です。内部には高精度な電磁式コントロールバルブを搭載しており、設定信号（バイアス電圧）に対して応答性が高く、迅速かつ正確な流量制御を実現します。アンモニアガスに対応した耐食性のある金属材料およびシール材が使用されており、特殊材料ガス配管系において信頼性の高いプロセス制御を支えます。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** アンモニア（NH3）
* **最大流量レンジ：** 1 SLM
* **流量測定・制御方式：** 熱式質量流量センサ ＋ 電磁式比例制御バルブ
* **バルブ動作：** ノーマリークローズ（非通電時閉）
* **精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2秒以下（典型値）
* **必要動作差圧：** 約0.1 MPa 〜 0.3 MPa
* **耐圧：** 最大 1.0 MPa
* **外部インターフェース（電気接続）：** D-sub 15ピンコネクタ
* **駆動電源：** ±15 VDC (±5%)
* **入出力信号：** 0〜5 VDC (または 4〜20 mA)
* **継手サイズ：** 1/4インチ（機種仕様によりSwagelokまたはVCRタイプ等）
* **接ガス部材質：** ステンレス鋼（SUS316相当）、フッ素ゴム（またはカルレッツ等、アンモニア耐性仕様）

※上記仕様はメーカーの基本シリーズ（FC-780）における代表的な公称値です。中古機器の特性上、実際の接続継手形状や校正状態については現物をご確認ください。