中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-410
年式表記：
仕様:ガス:O2 流量:5SLM
仕様:ガス:O2 流量:5SLM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を正確に測定・制御する熱線型のマスフローコントローラーです。長年にわたり半導体製造ラインや各種産業プロセス、研究開発用途で高い信頼性と実績を誇るロングセラーモデルの系譜に属します。
本個体は、対象ガスが「O2（酸素）」、最大制御流量が「5SLM（Standard Liters per Minute）」として校正・調整されています。駆動および制御信号のやり取りには、アナログ方式（一般的には±15V電源、0-5Vの流量設定・出力信号）を採用しており、既存のアナログ制御システムや手動設定器との接続が容易です。高精度なサーマルセンサーと、応答性に優れたソレノイドバルブを組み合わせることで、ガス流量の急激な変化に対しても安定した追従性を発揮します。経年変化が少なく、堅牢な構造であるため、中古機器としても安定した動作が期待できる信頼性の高い制御バルブユニットです。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス：** O2（酸素）
* **最大流量（フルスケール）：** 5 SLM
* **流量制御範囲：** 2〜100% F.S.（フルスケール）
* **流量精度：** ±1.0% F.S.以内（校正ガスおよび使用条件による）
* **応答性：** 約2〜3秒（定常流量の±2%以内に到達する時間）
* **直線性：** ±0.5% F.S.以内
* **再現性：** ±0.2% F.S.以内
* **動作差圧範囲：** 約50〜300 kPa（※一次圧・二次圧の差圧条件）
* **耐圧：** 1.0 MPa（最大動作圧力）
* **外部リーク量：** 1×10⁻¹¹ Pa・m³/sec (He) 以下
* **動作環境温度：** 5〜45℃（精度保証範囲：15〜35℃）
* **制御信号（アナログ）：**
* 流量設定信号：0〜5 VDC
* 流量出力信号：0〜5 VDC
* **電源仕様：**
* +15 VDC ±5%
* -15 VDC ±5%
* **継手（接続口径）：** 1/4インチ（SwagelokまたはVCR仕様※実機現物優先）
* **接ガス部材質：** SUS316L、SUS316、フッ素ゴム等（耐食性金属・シール材構成）
本装置は、気体の質量流量を正確に測定・制御する熱線型のマスフローコントローラーです。長年にわたり半導体製造ラインや各種産業プロセス、研究開発用途で高い信頼性と実績を誇るロングセラーモデルの系譜に属します。
本個体は、対象ガスが「O2（酸素）」、最大制御流量が「5SLM（Standard Liters per Minute）」として校正・調整されています。駆動および制御信号のやり取りには、アナログ方式（一般的には±15V電源、0-5Vの流量設定・出力信号）を採用しており、既存のアナログ制御システムや手動設定器との接続が容易です。高精度なサーマルセンサーと、応答性に優れたソレノイドバルブを組み合わせることで、ガス流量の急激な変化に対しても安定した追従性を発揮します。経年変化が少なく、堅牢な構造であるため、中古機器としても安定した動作が期待できる信頼性の高い制御バルブユニットです。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス：** O2（酸素）
* **最大流量（フルスケール）：** 5 SLM
* **流量制御範囲：** 2〜100% F.S.（フルスケール）
* **流量精度：** ±1.0% F.S.以内（校正ガスおよび使用条件による）
* **応答性：** 約2〜3秒（定常流量の±2%以内に到達する時間）
* **直線性：** ±0.5% F.S.以内
* **再現性：** ±0.2% F.S.以内
* **動作差圧範囲：** 約50〜300 kPa（※一次圧・二次圧の差圧条件）
* **耐圧：** 1.0 MPa（最大動作圧力）
* **外部リーク量：** 1×10⁻¹¹ Pa・m³/sec (He) 以下
* **動作環境温度：** 5〜45℃（精度保証範囲：15〜35℃）
* **制御信号（アナログ）：**
* 流量設定信号：0〜5 VDC
* 流量出力信号：0〜5 VDC
* **電源仕様：**
* +15 VDC ±5%
* -15 VDC ±5%
* **継手（接続口径）：** 1/4インチ（SwagelokまたはVCR仕様※実機現物優先）
* **接ガス部材質：** SUS316L、SUS316、フッ素ゴム等（耐食性金属・シール材構成）