中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
リンテック
型式MC-100
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高精度な気体の流量制御を行うサーマル方式のマスフローコントローラーです。独自の高応答性センサーとソレノイド駆動のアクチュエーター（バルブ）を搭載しており、プロセスガスの安定した供給と高速応答を両立しています。ガスケットにはゴム製Oリング（FKMなど）を採用しており、不活性ガスや各種乾燥ガスの流量制御に最適です。コンパクトな設置スペースに適合する124mmの面間寸法（標準仕様）と、各種アナログインターフェース（0-5Vまたは4-20mAなど）による制御に対応しており、半導体製造装置から一般産業用ガス制御、理化学機器まで幅広い分野で安定した性能を発揮します。
【AIによる参考仕様】
※仕様は標準的なモデルの代表値であり、個体ごとのオプション設定によって異なる場合があります。
* **流量制御範囲（フルスケール）**: 10 SCCM 〜 20 SLM（モデル選定による）
* **制御特性（応答速度）**: 約2秒以下（典型値）
* **精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）以内
* **再現性**: ±0.2% F.S.以内
* **動作差圧範囲**: 0.05 MPa 〜 0.3 MPa（一次圧・二次圧の差圧条件）
* **耐圧**: 1.0 MPa（最大動作圧力：0.49 MPa）
* **外部漏洩量**: 1×10⁻⁸ Pa・m³/sec He以下
* **シール材料**: フッ素ゴム（FKM）（標準仕様）
* **電気接続（コネクタ仕様）**: D-sub 9ピン（ピン配置および信号はアナログ標準に準拠）
* **制御信号**:
* 入力設定信号: 0〜5 VDC または 4〜20 mA
* 出力流量信号: 0〜5 VDC または 4〜20 mA
* **駆動電源**: ±15 VDC（±5%）、または +24 VDC（モデル仕様による）
* **継手サイズ**: 1/4インチ（SWL相当、またはVCR相当継手）
* **面間寸法（L寸法）**: 124 mm（1/4" SWLの場合）
* **接ガス部材質**: SUS316L、SUS316、SUS430、フッ素ゴム等
本装置は、高精度な気体の流量制御を行うサーマル方式のマスフローコントローラーです。独自の高応答性センサーとソレノイド駆動のアクチュエーター（バルブ）を搭載しており、プロセスガスの安定した供給と高速応答を両立しています。ガスケットにはゴム製Oリング（FKMなど）を採用しており、不活性ガスや各種乾燥ガスの流量制御に最適です。コンパクトな設置スペースに適合する124mmの面間寸法（標準仕様）と、各種アナログインターフェース（0-5Vまたは4-20mAなど）による制御に対応しており、半導体製造装置から一般産業用ガス制御、理化学機器まで幅広い分野で安定した性能を発揮します。
【AIによる参考仕様】
※仕様は標準的なモデルの代表値であり、個体ごとのオプション設定によって異なる場合があります。
* **流量制御範囲（フルスケール）**: 10 SCCM 〜 20 SLM（モデル選定による）
* **制御特性（応答速度）**: 約2秒以下（典型値）
* **精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）以内
* **再現性**: ±0.2% F.S.以内
* **動作差圧範囲**: 0.05 MPa 〜 0.3 MPa（一次圧・二次圧の差圧条件）
* **耐圧**: 1.0 MPa（最大動作圧力：0.49 MPa）
* **外部漏洩量**: 1×10⁻⁸ Pa・m³/sec He以下
* **シール材料**: フッ素ゴム（FKM）（標準仕様）
* **電気接続（コネクタ仕様）**: D-sub 9ピン（ピン配置および信号はアナログ標準に準拠）
* **制御信号**:
* 入力設定信号: 0〜5 VDC または 4〜20 mA
* 出力流量信号: 0〜5 VDC または 4〜20 mA
* **駆動電源**: ±15 VDC（±5%）、または +24 VDC（モデル仕様による）
* **継手サイズ**: 1/4インチ（SWL相当、またはVCR相当継手）
* **面間寸法（L寸法）**: 124 mm（1/4" SWLの場合）
* **接ガス部材質**: SUS316L、SUS316、SUS430、フッ素ゴム等