中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-D980のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体や電子デバイスの製造プロセスにおいて精密なガス流量制御を行う、DeviceNet通信対応のデジタルマスフローコントローラーです。腐食性ガスであるアンモニア（NH3）に対応した設計となっており、最大500 SCCMまでの微少流量を安定して制御します。デジタル信号処理技術を搭載しているため、ステップ変化に対して1秒以下という高速かつ安定した応答特性を発揮し、プロセスの再現性向上に貢献します。また、接ガス部にはメタルシールを採用しており、外部へのガス漏洩や外部からの大気混入を極限まで防ぐ高気密性を確保しています。コンパクトな外形寸法（W125mm × D37mm × H160mm）であり、限られたスペースへの設置や既存システムへの組み込み、交換作業もスムーズに行うことが可能です。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**：NH3（アンモニア）
* **最大制御流量**：500 SCCM
* **外形寸法**：W125 mm × D37 mm × H160 mm
* **通信インターフェース**：DeviceNet
* **シール材質**：メタルシール
* **応答時間**：1.0秒以下
* **流量制御精度**：±1.0% F.S.
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **バルブ動作仕様**：ノーマルクローズ（常時閉）