中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-410NCのご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造プロセスや真空プラズマ処理装置などで気体の流量を精密に制御するための熱式質量流量制御装置です。外部からのアナログ電圧信号を受信し、内蔵された熱式流量センサーでの計測値と設定値とを比較しながら、フィードバック回路によってコントロールバルブの開度を自動で調節します。これにより、環境の温度や圧力変動の影響を受けずに、目的の質量流量を安定して供給することが可能です。

本個体は、対象ガスがCF4（四フッ化炭素）、フルスケール流量が400 SCCMにキャリブレーションされています。CF4は主に半導体のドライエッチング工程などで多用される反応性ガスであり、400 SCCMという流量設定はプロセスチャンバーへの高精度なガス導入に適しています。また、型式末尾の「NC」はバルブの動作方式がノーマルクローズ（Normally Closed）であることを示しています。これは、装置の電源が遮断された際や非通電時に内部バルブがバネの力などで自動的に完全に閉じる構造であり、予期せぬガスの流出を防ぐフェイルセーフ設計となっています。

【AIによる参考仕様】
対象ガス：CF4（四フッ化炭素）
フルスケール流量：400 SCCM
バルブ作動方式：ノーマルクローズ（非通電時閉止）
流量制御範囲：2 ～ 100% F.S.
流量精度：±1.0% F.S.
応答速度：1秒以内
流量設定入力信号：0 ～ 5 VDC
流量出力信号：0 ～ 5 VDC
動作温度範囲：5 ～ 45 ℃
所要電源：±15 VDC
※上記は同シリーズの標準的な仕様値です。中古品のため、実際の継手規格（VCR、Swagelokなど）や現状の校正状態については現物をご確認ください。