中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-781C
年式表記：
仕様:ガスO2 流量20SLM W150 D40 H155
仕様:ガスO2 流量20SLM W150 D40 H155
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業・研究開発において、気体の質量流量を精密に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。測定対象ガスとして酸素（O2）に対応しており、最大20 SLM（Standard Liter per Minute）の中〜大流量域において、安定したガス供給プロセスを実現します。
内部に搭載された高精度な熱式センサーと応答性に優れた電磁バルブの組み合わせにより、ガス流量の変動に対して素早く追従し、設定値への優れた応答性と高い再現性を確保しています。シール部には信頼性の高いエラストマー素材が採用されており、外部漏れを防ぐ強固な気密性を維持します。制御はアナログ信号（0〜5 VDC）によって行われ、既存のガス供給パネルや各種制御システムへの統合がスムーズです。外形寸法は幅150mm×奥行40mm×高さ155mmとコンパクトに設計されており、限られたスペースへの設置やリプレイスにも適しています。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: 酸素 (O2)
* **最大制御流量**: 20 SLM
* **流量制御範囲**: 2% ～ 100% F.S. (フルスケール)
* **精度**: ±1.0% F.S.
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以内 (ステップ応答98%到達時間)
* **動作差圧範囲**: 0.10 MPa ～ 0.30 MPa
* **耐圧性能**: 最大 1.0 MPa (約150 psig)
* **外部リーク量**: 1 × 10^-9 atm・cc/sec He 以下
* **制御信号 (入出力)**: 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC (±5%)
* **動作環境温度**: 5 ℃ ～ 50 ℃
* **外形寸法**: 幅 150 mm × 奥行 40 mm × 高さ 155 mm (突起部、接続部を除く)
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業・研究開発において、気体の質量流量を精密に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。測定対象ガスとして酸素（O2）に対応しており、最大20 SLM（Standard Liter per Minute）の中〜大流量域において、安定したガス供給プロセスを実現します。
内部に搭載された高精度な熱式センサーと応答性に優れた電磁バルブの組み合わせにより、ガス流量の変動に対して素早く追従し、設定値への優れた応答性と高い再現性を確保しています。シール部には信頼性の高いエラストマー素材が採用されており、外部漏れを防ぐ強固な気密性を維持します。制御はアナログ信号（0〜5 VDC）によって行われ、既存のガス供給パネルや各種制御システムへの統合がスムーズです。外形寸法は幅150mm×奥行40mm×高さ155mmとコンパクトに設計されており、限られたスペースへの設置やリプレイスにも適しています。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: 酸素 (O2)
* **最大制御流量**: 20 SLM
* **流量制御範囲**: 2% ～ 100% F.S. (フルスケール)
* **精度**: ±1.0% F.S.
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以内 (ステップ応答98%到達時間)
* **動作差圧範囲**: 0.10 MPa ～ 0.30 MPa
* **耐圧性能**: 最大 1.0 MPa (約150 psig)
* **外部リーク量**: 1 × 10^-9 atm・cc/sec He 以下
* **制御信号 (入出力)**: 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC (±5%)
* **動作環境温度**: 5 ℃ ～ 50 ℃
* **外形寸法**: 幅 150 mm × 奥行 40 mm × 高さ 155 mm (突起部、接続部を除く)