中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
型式
SEC-4500MC-SUC
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
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【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする高度なガス制御が求められる環境において、極めて高い信頼性を発揮する熱式マスフローコントローラーです。気体の質量流量を直接測定・制御するため、周囲の温度や圧力の変動に左右されない安定した供給を実現します。
本モデルは、接ガス部に特殊処理を施した超高クリーン（SUC）仕様を採用しており、腐食性ガスや高純度プロセスの使用下においても、ガスの汚染やデバイスの腐食を最小限に抑えます。また、デジタル通信規格であるDeviceNetインターフェースに対応しており、システム全体の省配線化に加え、リアルタイムでの正確な流量監視や自己診断機能などの高度なデジタル制御が可能です。高速な応答性能と優れた再現性を両立しており、緻密なプロセス制御の安定化に寄与します。
【AIによる参考仕様】
※仕様値はメーカーの標準的なシリーズ構成に基づきます。実機に書き込まれている個別ガス種や流量レンジの設定、校正データは現物をご確認ください。
* **制御流量範囲**: 10 sccm 〜 20 slm（工場出荷時の個別仕様に準拠）
* **流量制御精度**: ±1.0% F.S.（フルスケールに対して）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答速度**: 1.0秒以下（0%から100%へのステップ応答時）
* **ガス接触部材質**: SUS316L（内面電解研磨処理、ダブルメルト材対応）
* **外部リーク量**: 1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec 以下（Heリークデテクタ測定値）
* **最大動作圧力**: 300 kPa (G)
* **耐圧性能**: 1.0 MPa (G)
* **動作温度範囲**: 5℃ 〜 50℃
* **通信インターフェース**: DeviceNet対応
* **継手仕様**: 1/4インチ VCR互換継手
* **バルブ動作型式**: 常時閉（ノーマリークローズ）
本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする高度なガス制御が求められる環境において、極めて高い信頼性を発揮する熱式マスフローコントローラーです。気体の質量流量を直接測定・制御するため、周囲の温度や圧力の変動に左右されない安定した供給を実現します。
本モデルは、接ガス部に特殊処理を施した超高クリーン（SUC）仕様を採用しており、腐食性ガスや高純度プロセスの使用下においても、ガスの汚染やデバイスの腐食を最小限に抑えます。また、デジタル通信規格であるDeviceNetインターフェースに対応しており、システム全体の省配線化に加え、リアルタイムでの正確な流量監視や自己診断機能などの高度なデジタル制御が可能です。高速な応答性能と優れた再現性を両立しており、緻密なプロセス制御の安定化に寄与します。
【AIによる参考仕様】
※仕様値はメーカーの標準的なシリーズ構成に基づきます。実機に書き込まれている個別ガス種や流量レンジの設定、校正データは現物をご確認ください。
* **制御流量範囲**: 10 sccm 〜 20 slm（工場出荷時の個別仕様に準拠）
* **流量制御精度**: ±1.0% F.S.（フルスケールに対して）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答速度**: 1.0秒以下（0%から100%へのステップ応答時）
* **ガス接触部材質**: SUS316L（内面電解研磨処理、ダブルメルト材対応）
* **外部リーク量**: 1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec 以下（Heリークデテクタ測定値）
* **最大動作圧力**: 300 kPa (G)
* **耐圧性能**: 1.0 MPa (G)
* **動作温度範囲**: 5℃ 〜 50℃
* **通信インターフェース**: DeviceNet対応
* **継手仕様**: 1/4インチ VCR互換継手
* **バルブ動作型式**: 常時閉（ノーマリークローズ）