中古機 マスフローコントローラー（MFC） Unit製、型式UFC-1100のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において長年の実績を持つ、熱式センサー搭載のアナログ制御方式マスフローコントローラー（MFC）です。対象ガスは窒素（N2）に調整されており、最大300 SCCM（標準ミリリットル/分）の流量レンジを精密に測定および制御します。

内部の流速センサーはガスの質量流量を直接検出するため、温度や圧力の変動に影響されず、安定したプロセス管理が可能です。制御バルブには、一次側・二次側の異常時や無通電時に自動で流路を遮断するノーマリークローズ（常時閉）タイプを採用しており、安全性の高いシステム設計に寄与します。

入出力信号はアナログの0〜5 VDCに対応し、±15 VDCの外部電源で動作します。既存のアナログ制御システムへの組み込み、および生産ラインの保守・交換用部材として信頼性の高い仕様となっています。

【AIによる参考仕様】
・制御対象ガス：窒素（N2）
・最大制御流量：300 SCCM
・流量精度：±1.0% F.S. (フルスケール)
・直線性：±0.5% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：2.0秒以下（設定値の±2%以内）
・入出力信号：0 〜 5 VDC
・動作電源：+15 VDC (約50mA) / -15 VDC (約150mA)
・バルブ動作：ノーマリークローズ（N.C. / 常時閉）
・シール材質：エラストマー（バイトン）
・最大動作圧力：1.03 MPa (150 psig)
・必要動作差圧：0.07 〜 0.28 MPa (10 〜 40 psid)
・接続継手：1/4インチ（仕様による）