中古機 マスフローコントローラー（MFC） SAM製、型式SFC480EMC-4VMのご紹介

【AIによる装置概要】
各種高精度ガス制御プロセスで使用される、熱式マスフローコントローラ（MFC）です。メタルシールの採用により、外部リークや不純物の混入を極限まで抑制し、優れた気密性とシステム信頼性を実現しています。最大5 SLMの制御流量に対応し、水素ガスの精密な流量管理をサポートします。接続部には業界標準である1/4インチVCRオス継手を備えており、半導体製造装置や実験設備などのクリーンルーム環境下において、シームレスかつ確実な配管接続が可能です。応答性に優れた高速バルブ制御と高い流量再現性により、シビアなガスプロセスにおいて安定した運用に貢献します。

【AIによる参考仕様】
・対応ガス：水素（H2）
・フルスケール流量：5 SLM
・流量制御範囲：2% 〜 100% F.S.
・流量精度：±1.0% F.S.
・応答速度：1.0秒以下
・バルブ形式：ノーマリークローズ（非通電時閉）
・シール方式：メタルシール
・継手仕様：1/4インチ VCRオス（4VM）
・外部漏洩率：1.0 × 10^-11 Pa・m³/s He以下
・耐圧性能：1.0 MPa
・動作差圧範囲：50 kPa 〜 300 kPa
・電源仕様：DC ±15 V
・入出力信号（アナログ）：0 〜 5 V DC
・電気コネクタ：D-sub 9ピン（オス）