中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-7330M
年式表記：
仕様:ガス：B2H6 流量：200SCCM
仕様:ガス：B2H6 流量：200SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスにおいて高い実績を持つメタルシール方式のマスフローコントローラーです。金属ガスケットによる高度なシール技術を採用しており、ジボラン（B2H6）をはじめとする特殊材料ガスや毒性・腐食性ガスに対しても、極めて優れた気密性と安全性を発揮します。応答速度は1秒以下と高速であり、ガス供給ラインの圧力変動に対しても安定した追従性を示します。同シリーズにおいて中流量域（10 SLM〜30 SLM）をカバーする筐体設計をベースとしながら、本個体はプロセスガスとしてジボラン（B2H6）を使用し、流量200 SCCMの精密制御用として調整されています。特殊ガスを用いたプロセス開発や評価試験、各種製造設備の予備機として最適な仕様となっています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: B2H6（ジボラン）
* **個体設定流量**: 200 SCCM
* **標準流量レンジ（シリーズ仕様）**: 10 SLM ～ 30 SLM（N2換算フルスケール）
* **流量制御範囲**: フルスケールの 2% ～ 100%
* **流量精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **応答性能**: 1秒以下（全域）
* **シール構造**: メタルシール
* **外部リーク量**: 1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec 以下（Heリーク基準）
* **動作温度範囲**: 5℃ ～ 50℃（精度保証範囲：15℃ ～ 35℃）
* **耐圧（気密圧）**: 1.0 MPa
* **駆動電源**: ±15 VDC ±5%
* **ガス接続継手**: 1/4インチ VCR相当
* **バルブ動作**: ノーマリークローズ（N.C.）
本装置は、半導体製造プロセスにおいて高い実績を持つメタルシール方式のマスフローコントローラーです。金属ガスケットによる高度なシール技術を採用しており、ジボラン（B2H6）をはじめとする特殊材料ガスや毒性・腐食性ガスに対しても、極めて優れた気密性と安全性を発揮します。応答速度は1秒以下と高速であり、ガス供給ラインの圧力変動に対しても安定した追従性を示します。同シリーズにおいて中流量域（10 SLM〜30 SLM）をカバーする筐体設計をベースとしながら、本個体はプロセスガスとしてジボラン（B2H6）を使用し、流量200 SCCMの精密制御用として調整されています。特殊ガスを用いたプロセス開発や評価試験、各種製造設備の予備機として最適な仕様となっています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: B2H6（ジボラン）
* **個体設定流量**: 200 SCCM
* **標準流量レンジ（シリーズ仕様）**: 10 SLM ～ 30 SLM（N2換算フルスケール）
* **流量制御範囲**: フルスケールの 2% ～ 100%
* **流量精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **応答性能**: 1秒以下（全域）
* **シール構造**: メタルシール
* **外部リーク量**: 1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec 以下（Heリーク基準）
* **動作温度範囲**: 5℃ ～ 50℃（精度保証範囲：15℃ ～ 35℃）
* **耐圧（気密圧）**: 1.0 MPa
* **駆動電源**: ±15 VDC ±5%
* **ガス接続継手**: 1/4インチ VCR相当
* **バルブ動作**: ノーマリークローズ（N.C.）