中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-260Jのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業用ガス制御、研究開発分野で広く採用されている実績豊富なアナログ式マスフローコントローラーです。制御ガス種はO2（酸素）、最大制御流量は100 SCCMの仕様となっています。

接ガス部のシール部材にエラストマー（ゴムシール）を採用しており、気密性と耐久性を両立しています。制御信号には汎用性の高い0〜5 VDCのアナログ入出力を採用し、±15 VDCの外部電源で駆動します。応答速度は2秒以下と安定した過渡特性を持ち、プロセスの初期段階から安定したガス流量供給を可能にします。シンプルかつ堅牢な設計により、ガス混合装置や分析機器の組み込み用としても適した扱いやすいモデルです。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**：O2（酸素）
* **フルスケール流量**：100 SCCM
* **シール材質**：エラストマー（ゴム）
* **流量制御範囲**：2～100% F.S.
* **精度**：±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答時間**：2秒以下（代表値）
* **動作差圧範囲**：98～294 kPa（標準仕様値。実動作は一次圧・二次圧の条件による）
* **耐圧**：1.0 MPa
* **外部リーク量**：1×10^-11 Pa・m³/sec He以下
* **動作環境温度**：5～45℃
* **制御信号**：入力 0～5 VDC / 出力 0～5 VDC
* **駆動電源**：±15 VDC (±5%)
* **バルブ形式**：常時閉（Normally Closed / N.C.）
* **継手サイズ**：1/4インチ（VCRまたはダブルフェルール等。現物優先）