中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-770ACのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体や電子デバイスの製造プロセスなどで広く実績を持つ、エラストマーシール仕様のアナログマスフローコントローラーです。信頼性の高い熱式センサーと応答性に優れたソレノイドバルブ（常時閉：Normally Closed）を搭載しており、プロセスの要求に応じた高精度なガス流量測定と安定した制御を実現します。本個体は、エッチングやCVD、クリーニング工程で多用されるCF4（四フッ化炭素）ガスに対応しており、フルスケール流量は200 SCCMに調整されています。制御方式はアナログ電圧信号（0〜5 VDC）を使用する仕様となっており、同規格の既存システムや生産ラインへの統合が容易です。堅牢な構造と定評ある基本性能により、プロセスの安定稼働に寄与します。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: CF4（四フッ化炭素）
* **フルスケール流量**: 200 SCCM
* **シール材質**: エラストマー（Vitonなど）
* **バルブ動作タイプ**: ソレノイドバルブ（常時閉 / Normally Closed）
* **入出力制御信号**: アナログ 0〜5 VDC（設定・出力）
* **応答時間**: 2.0秒以下
* **測定精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **動作差圧範囲**: 約50〜300 kPa（0.5〜3.0 bar）
* **最大動作圧力**: 1.0 MPa
* **駆動電源**: ±15 VDC（±5%）
* **電気接続コネクタ**: D-sub 9ピン
* **継手サイズ**: 1/4インチ（※VCRまたはSwagelok等の接続形状は、現物の仕様をご確認ください）