中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-410のご紹介

【AIによる装置概要】
本マスフローコントローラーは、半導体製造や研究開発分野において長年の実績を持つ、熱式質量流量制御装置です。アナログ制御方式を採用しており、優れた再現性と安定した流量制御能力を特長としています。本個体は、主にシリコンウェハへのボロンドーピング工程などで使用される特殊ガス「1% B2H6/Ar（アルゴン希釈1%ジボラン）」専用に調整されており、最大流量1 LM（L/min）の正確な制御が可能です。本シリーズにおいて、本構成が属するモデルはフルスケール流量10 sccmから10 slmまでの中・低流量域に対応する設計となっており、1 LMというプロセス条件において最適なパフォーマンスを発揮します。信頼性の高いシール構造により外部へのガス漏洩を防ぎ、安全な特殊ガス管理をサポートします。

【AIによる参考仕様】
* **対象ガス**: 1% B2H6/Ar（ジボラン 1% / アルゴン希釈）
* **最大流量（フルスケール）**: 1 LM（1 slm相当）
* **流量制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.（フルスケール）
* **流量精度**: ±1.0% F.S.以内
* **再現性**: ±0.2% F.S.以内
* **応答速度**: 5秒以下
* **動作差圧範囲**: 50 kPa ～ 300 kPa
* **耐圧**: 1.0 MPa (G)
* **外部リーク量**: 1 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec (He) 以下
* **制御信号（アナログ）**: 0 ～ 5 VDC（設定入力および流量出力）
* **駆動電源**: ±15 VDC ±5% （約100mA）
* **推奨動作温度**: 5℃ ～ 45℃
* **本体シール材**: メタルシールまたは高機能エラストマー（要現物確認）