中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-760
年式表記：
仕様:ガスN2 流量500SCCM W150 D40 H180
仕様:ガスN2 流量500SCCM W150 D40 H180
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を高精度に測定・制御するアナログ式の熱式マスフローコントローラー（MFC）です。長年にわたり半導体製造ラインや各種実験装置、真空薄膜形成プロセスなどで標準的に採用されてきた、堅牢で信頼性の高い構造を備えています。
内部には熱式センサーと電磁式の流量制御バルブ（ノーマリークローズ仕様）を搭載しており、一次側の圧力変動や周囲の温度変化に左右されることなく、設定された流量を安定して維持します。制御および測定値の出力には汎用性の高い0〜5 VDCアナログ信号を採用しているため、既存の各種制御システムや外部ディスプレイ、PLC（プログラマブルロジックコントローラ）との連携が容易です。接続インターフェースには20ピンのカードエッジコネクタが採用されており、同系統のシステムを使用する既存設備のメンテナンスや予備部品、レトロフィット用途として非常に有用な1台です。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: 窒素（N2）
* **最大制御流量**: 500 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）
* **流量制御範囲**: フルスケールの 2% ～ 100%
* **測定精度**: ±1.0% FS（フルスケール）
* **直線性**: ±0.5% FS
* **再現性**: ±0.2% FS
* **応答速度**: 約 2 ～ 7 秒（設定値の±2%以内に到達するまでの時間）
* **動作差圧範囲**: 約 0.07 MPa ～ 0.28 MPa (10 ～ 40 psid)
* **最大動作圧力**: 約 1.03 MPa (150 psig)
* **耐圧性能**: 約 6.89 MPa (1000 psig)
* **外部入出力信号**: 0 ～ 5 VDC（流量設定入力および流量出力信号）
* **電源仕様**: ±15 VDC（+15VDC 約35mA / -15VDC 約105mA）
* **電気コネクタ**: 20ピン カードエッジ端子
* **シール材質**: エラストマー（フッ素ゴム等）
* **外形寸法**: 幅 150 mm × 奥行 40 mm × 高さ 180 mm
本装置は、気体の質量流量を高精度に測定・制御するアナログ式の熱式マスフローコントローラー（MFC）です。長年にわたり半導体製造ラインや各種実験装置、真空薄膜形成プロセスなどで標準的に採用されてきた、堅牢で信頼性の高い構造を備えています。
内部には熱式センサーと電磁式の流量制御バルブ（ノーマリークローズ仕様）を搭載しており、一次側の圧力変動や周囲の温度変化に左右されることなく、設定された流量を安定して維持します。制御および測定値の出力には汎用性の高い0〜5 VDCアナログ信号を採用しているため、既存の各種制御システムや外部ディスプレイ、PLC（プログラマブルロジックコントローラ）との連携が容易です。接続インターフェースには20ピンのカードエッジコネクタが採用されており、同系統のシステムを使用する既存設備のメンテナンスや予備部品、レトロフィット用途として非常に有用な1台です。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: 窒素（N2）
* **最大制御流量**: 500 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）
* **流量制御範囲**: フルスケールの 2% ～ 100%
* **測定精度**: ±1.0% FS（フルスケール）
* **直線性**: ±0.5% FS
* **再現性**: ±0.2% FS
* **応答速度**: 約 2 ～ 7 秒（設定値の±2%以内に到達するまでの時間）
* **動作差圧範囲**: 約 0.07 MPa ～ 0.28 MPa (10 ～ 40 psid)
* **最大動作圧力**: 約 1.03 MPa (150 psig)
* **耐圧性能**: 約 6.89 MPa (1000 psig)
* **外部入出力信号**: 0 ～ 5 VDC（流量設定入力および流量出力信号）
* **電源仕様**: ±15 VDC（+15VDC 約35mA / -15VDC 約105mA）
* **電気コネクタ**: 20ピン カードエッジ端子
* **シール材質**: エラストマー（フッ素ゴム等）
* **外形寸法**: 幅 150 mm × 奥行 40 mm × 高さ 180 mm