中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-D980Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスやエッチング工程において、ガスの質量流量を高精度に制御するためのデジタルマスフローコントローラー（MFC）です。通信プロトコルにはDeviceNetを採用しており、省配線化とリアルタイムなデジタル通信による高度な流量管理を実現します。

本個体は、フッ素系エッチングガスであるCHF3（トリフルオロメタン）専用に仕様が調整されており、最大流量100 SCCMの微小流量制御に対応します。ガス放出が少なく気密性の高いメタルシール構造を採用しているため、腐食性ガスに対しても優れた耐久性を発揮し、プロセスの高クリーン化と高再現性に貢献します。応答性に優れたソレノイドバルブ制御により、設定値への迅速な追従が可能です。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: CHF3（トリフルオロメタン）
* **最大流量（フルスケール）**: 100 SCCM
* **シール材質**: メタルシール
* **通信インターフェース**: DeviceNet
* **バルブ動作**: ノーマリークローズ（N.C.）
* **流量制御範囲**: 2% 〜 100% F.S.
* **流量制御精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2.0秒以下（代表値）
* **動作温度範囲**: 5℃ 〜 50℃
* **電源電圧**: DC 11 〜 25 V（DeviceNetバスパワー供給）
* **外形寸法**: W130 mm × D40 mm × H170 mm（突起部含む）