中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-D980のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や薄膜堆積プロセスなどの精密な気体流量制御が求められる環境で使用される、デジタル制御方式のマスフローコントローラーです。制御対象のガスは窒素（N2）で、最大流量1000SCCMまでの流量を正確に制御可能です。接ガス部には気密性と耐食性に優れたメタルシール構造を採用しており、外部へのガス漏洩や大気の混入を防ぐとともに、プロセスラインのクリーン性を高く維持します。デジタル通信規格（DeviceNet）に対応しているため、ホストシステムからの迅速な流量指令の受信や詳細なステータス監視が可能であり、高度に自動化された生産設備に容易に統合できます。優れた応答特性により、ガス流量の変動を最小限に抑え、プロセスの安定性と高い再現性を確保します。

【AIによる参考仕様】
* **対象ガス：** 窒素（N2）
* **最大制御流量：** 1000 SCCM
* **シール方式：** メタルシール
* **制御精度：** ±1.0% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 1.0秒以下
* **動作環境温度：** 5℃ ～ 50℃
* **動作差圧範囲：** 約50 kPa ～ 300 kPa
* **通信インターフェース：** DeviceNet（デジタル）
* **外形寸法：** W130 mm × D40 mm × H170 mm