中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-260Jのご紹介

【AIによる装置概要】
本マスフローコントローラーは、半導体製造や薄膜形成プロセスにおいて高い実績を持つ、アナログ制御方式の気体流量制御装置です。本個体は、5%に窒素（N2）希釈されたモノシランガス（SiH4）専用として仕様構成されており、最大3 SLMまでの精密な流量制御を実現します。優れた応答性と高い再現性を備え、プロセスの安定化に寄与します。また、気密性と耐久性に優れたメタルシール構造を採用しているため、腐食性や可燃性を持つ特殊材料ガスに対しても高い安全性を保持します。外形寸法は幅130mm、奥行25mm、高さ110mmとコンパクトであり、既存のガスパネルや装置内レイアウトへの組み込み、リプレイスが容易な設計となっています。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: 5% SiH4 / N2（モノシラン 5% / 窒素希釈ガス）
* **最大制御流量**: 3 SLM (Standard Liters per Minute)
* **外形寸法**: 幅 130 mm × 奥行 25 mm × 高さ 110 mm
* **シール方式**: メタルシール
* **制御精度**: ±1.0% F.S. (フルスケール) ※標準仕様値
* **再現性**: ±0.2% F.S. ※標準仕様値
* **応答速度**: 2秒以下 ※標準仕様値
* **バルブ動作**: 常閉 (Normally Closed) ※標準仕様