中古機 マスフローコントローラー（MFC） SAM製、型式SFC570MO-4VQのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや真空成膜装置など、厳密なガス流量制御が求められる環境で使用されるマスフローコントローラーです。内部の熱式質量流量センサーによって配管内を流れるガスの質量を直接検知し、内蔵された高精度な比例制御バルブを駆動させることで、周囲の温度や一次側・二次側の圧力変動に影響されることなく、設定された流量を安定して供給します。

本モデルは、接ガス部の気密性に優れたメタルシール構造を採用しており、高純度ガスや腐食性ガス、可燃性ガスを扱うプロセスに幅広く対応可能です。外部への微少なガスリークを極限まで抑えられるため、高いクリーン度が要求される環境下でも安全かつ信頼性の高い制御を実現します。また、プロセス配管への接続部には1/4インチのVCR継手仕様が採用されており、容易かつ確実な配管接続と高い真空理工性を両立しています。

約1.0秒以内という迅速な応答性能と、設定値に対する高い流量精度を備えており、CVD（化学気相成長）やドライエッチングといった微小なガス流量の最適化が歩留まりに直結するプロセスに寄与します。中古機器として各種装置へ組み込む際は、あらかじめキャリブレーションされているガス種およびフルスケール流量の範囲と、実プロセスの要件が適合しているかを確認のうえ運用することが推奨されます。

【AIによる参考仕様】
測定・制御方式：熱式質量流量制御
シール構造：メタルシール
継手仕様：1/4インチ VCRタイプ
対応流量範囲（フルスケール）：10 SCCM ～ 30 SLM（工場出荷時の設定による）
流量精度：±1.0% S.P.（設定値に対して）
応答速度：1.0秒以内
バルブ動作：ノーマリーオープン または ノーマリークローズ（モデルサフィックスによる）
使用温度範囲：5℃ ～ 50℃
許容動作圧力：50 kPa ～ 300 kPa（プロセス条件により変動）
耐圧：1.0 MPa（G）
駆動電源：±15V DC または +24V DC
入出力信号：アナログ信号（0～5VDC または 4～20mA）、デジタル通信対応