中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
リンテック
型式MC-100M
年式表記：
仕様:ガスO2 流量500SCCM W210 D40 H175
仕様:ガスO2 流量500SCCM W210 D40 H175
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を高精度に計測・制御するためのマスフローコントローラーです。センサー部に熱線バイパス方式、バルブ駆動部に微細な調整が可能なピエゾアクチュエータを採用しており、優れた応答性と安定性を備えています。
本個体は、制御対象ガスがO2（酸素）、最大流量が500SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）の仕様となっています。一般的に高精度なガス供給が必要とされる半導体製造、薄膜形成、研究開発分野などのプロセスラインで活用されます。標準的な仕様として、±1.0% F.S.の優れた流量精度と±0.2% F.S.の高い再現性を実現しており、プロセスの再現性向上や安定したガス供給に貢献します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** O2（酸素）
* **最大制御流量：** 500 SCCM
* **流量センサー方式：** 熱線バイパス方式
* **制御バルブ方式：** ピエゾアクチュエータ（常閉：Normally Closed）
* **流量精度：** ±1.0% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 1.0秒以下
* **動作差圧範囲：** 50 kPa ～ 300 kPa
* **耐圧：** 1.0 MPa
* **外部リークレート：** 1×10⁻¹¹ Pa・m³/sec He 以下
* **制御信号（インターフェース）：** アナログ（D-sub 9ピン等）
* **外形寸法：** W210 mm × D40 mm × H175 mm（※付属ユニットや取付ステー等を含む測定値）
本装置は、気体の質量流量を高精度に計測・制御するためのマスフローコントローラーです。センサー部に熱線バイパス方式、バルブ駆動部に微細な調整が可能なピエゾアクチュエータを採用しており、優れた応答性と安定性を備えています。
本個体は、制御対象ガスがO2（酸素）、最大流量が500SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）の仕様となっています。一般的に高精度なガス供給が必要とされる半導体製造、薄膜形成、研究開発分野などのプロセスラインで活用されます。標準的な仕様として、±1.0% F.S.の優れた流量精度と±0.2% F.S.の高い再現性を実現しており、プロセスの再現性向上や安定したガス供給に貢献します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** O2（酸素）
* **最大制御流量：** 500 SCCM
* **流量センサー方式：** 熱線バイパス方式
* **制御バルブ方式：** ピエゾアクチュエータ（常閉：Normally Closed）
* **流量精度：** ±1.0% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 1.0秒以下
* **動作差圧範囲：** 50 kPa ～ 300 kPa
* **耐圧：** 1.0 MPa
* **外部リークレート：** 1×10⁻¹¹ Pa・m³/sec He 以下
* **制御信号（インターフェース）：** アナログ（D-sub 9ピン等）
* **外形寸法：** W210 mm × D40 mm × H175 mm（※付属ユニットや取付ステー等を含む測定値）