中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-510Aのご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造や各種産業プロセスにおいて、気体の質量流量を高精度に測定・制御するアナログタイプの熱式マスフローコントローラーです。外部のプロセス圧力の変動に対しても、優れた応答性と安定した流量供給を維持する信頼性の高い設計が特徴です。
なお、本シリーズのメーカー公式仕様において、本機の流量制御範囲（N2換算）は10 sccmから10 slm（L/min）となっており、20 slmから50 slmの中高流量域に対応するモデルは同シリーズの別型式に分類されます。そのため、ご提示いただいた「流量：50LM（50 L/min）」という仕様は、姉妹機である高流量モデルの仕様、あるいは特別なカスタム仕様を指している可能性があります。以下には、この混同を防ぐために、本機のメーカー公称の標準仕様を正確に記載しています。

【AIによる参考仕様】
・対応ガス：N2（窒素）および各種不活性ガス
・流量制御範囲（N2換算）：10 sccm ～ 10 slm
※50 slmに対応するモデルは同シリーズの別型式（動作差圧：147～294 kPa）となります。
・流量精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：2秒以下（0% → 100%ステップ応答時、±2.0% F.S.以内への整定時間）
・動作差圧範囲：
- 10 sccm ～ 5 slm：49 ～ 294 kPa
- 10 slm：98 ～ 294 kPa
・耐圧：980 kPa（ゲージ圧）
・外部リーク量：1.0 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec以下（Heリーク）
・動作温度範囲：5 ～ 45 ℃
・制御信号（入力／出力）：0 ～ 5 V DC（アナログ）
・駆動電源：DC±15 V ±5%（+15V: 25mA以下、-15V: 180mA以下）
・主要接ガス部材質：SUS316L、フッ素ゴム（※仕様により異なる場合があります）