中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-781
年式表記：
仕様:H2 2SLM
仕様:H2 2SLM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造プロセスや各種産業用途、研究開発におけるガス制御で長年の実績を持つ熱式（サーマル）マスフローコントローラーです。水素ガス（H2）の流量制御に特化した設計となっており、フルスケール2 SLM（Standard Liters per Minute）の流量域において極めて精密かつ安定した流量制御を実現します。
内部に搭載されたサーマルセンサーがガスの質量流量を熱的に直接測定するため、周囲の温度や一次側・二次側の圧力変動に左右されない正確な流量制御が可能です。アナログ信号（0〜5 VDC）によって流量設定および出力モニターを行い、応答時間は2秒以下と優れた追従性を備えています。信頼性の高いロングセラーモデルとして、薄膜形成装置、熱処理炉、各種評価試験装置などのガス導入ラインに広く導入されています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** H2（水素）
* **最大流量（フルスケール）：** 2 SLM
* **流量制御方式：** 熱線式（サーマル質量流量測定）
* **バルブタイプ：** ソレノイドバルブ（常時閉：Normally Closed）
* **制御精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2秒以下（設定値の±2%以内）
* **動作差圧範囲：** 約 0.07 〜 0.28 MPa (10 〜 40 psid)
* **耐圧：** 最大約 1.03 MPa (150 psig)
* **入出力信号：** 0 〜 5 VDC (アナログ)
* **駆動電源：** ±15 VDC (±5%)
* **電気コネクタ：** 20ピン カードエッジ端子
* **接ガス部材質：** SUS316、Viton等（シール材仕様による）
本機は、半導体製造プロセスや各種産業用途、研究開発におけるガス制御で長年の実績を持つ熱式（サーマル）マスフローコントローラーです。水素ガス（H2）の流量制御に特化した設計となっており、フルスケール2 SLM（Standard Liters per Minute）の流量域において極めて精密かつ安定した流量制御を実現します。
内部に搭載されたサーマルセンサーがガスの質量流量を熱的に直接測定するため、周囲の温度や一次側・二次側の圧力変動に左右されない正確な流量制御が可能です。アナログ信号（0〜5 VDC）によって流量設定および出力モニターを行い、応答時間は2秒以下と優れた追従性を備えています。信頼性の高いロングセラーモデルとして、薄膜形成装置、熱処理炉、各種評価試験装置などのガス導入ラインに広く導入されています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** H2（水素）
* **最大流量（フルスケール）：** 2 SLM
* **流量制御方式：** 熱線式（サーマル質量流量測定）
* **バルブタイプ：** ソレノイドバルブ（常時閉：Normally Closed）
* **制御精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2秒以下（設定値の±2%以内）
* **動作差圧範囲：** 約 0.07 〜 0.28 MPa (10 〜 40 psid)
* **耐圧：** 最大約 1.03 MPa (150 psig)
* **入出力信号：** 0 〜 5 VDC (アナログ)
* **駆動電源：** ±15 VDC (±5%)
* **電気コネクタ：** 20ピン カードエッジ端子
* **接ガス部材質：** SUS316、Viton等（シール材仕様による）