中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-400MK2のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや理化学・研究開発用途において、ガスの質量流量を高精度かつ安定的に制御するためのマスフローコントローラーです。高感度な熱式流量センサと応答性に優れた電磁バルブ、さらにデジタル演算回路を搭載しており、過渡応答特性が優れ、設定変更から約1秒で安定した制御流量に達する高速応答を実現しています。

本個体は、エッチングやクリーニング用途などで広く使用されるCF4（四フッ化炭素）ガス専用に校正されており、フルスケール流量は500 CCM（標準状態換算：ml/min）仕様です。フルスケールに対して±1.0%の高精度な流量制御と、±0.2%以内の優れた再現性を備えており、微小かつ厳密な流量管理が要求されるプロセスに最適です。耐久性の高いシール構造と汎用性の高い通信・制御インターフェースを備え、実験・評価設備や既存システムへの組み込みに適した設計となっています。

【AIによる参考仕様】
- **対応ガス**：CF4（四フッ化炭素）
- **フルスケール流量**：500 CCM（cm³/min、0℃ 1気圧基準）
- **流量制御範囲**：2% 〜 100% F.S.（フルスケール）
- **流量精度**：±1.0% F.S.
- **再現性**：±0.2% F.S.
- **応答速度**：約1秒
- **動作差圧範囲**：50 kPa 〜 300 kPa
- **耐圧**：1.0 MPa（ゲージ圧）
- **外部リーク量**：1 × 10⁻⁷ Pa・m³/sec He以下
- **バルブ動作**：ノーマリークローズ（N.C. / 電源OFF時閉）
- **動作温度範囲**：5℃ 〜 45℃
- **制御信号（アナログ）**：0 〜 5 VDC
- **電気接続**：D-sub 9ピンコネクタ
- **接ガス部主要材質**：SUS316L、フッ素ゴム等（標準エラストマー仕様）