中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-770ACのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、優れた応答性と安定性を備えたアナログ制御方式のマスフローコントローラーです。内部の熱式流量センサーと電磁式コントロールバルブにより、ガスの微小流量をリアルタイムに測定・制御します。シール部には実績のあるエラストマー素材が採用されており、半導体製造、研究開発、各種産業用プロセスにおける窒素（N2）ガスの精密な流量管理に適しています。制御バルブは無通電時に流路を閉じる常時閉（ノーマリークローズ）タイプとなっており、システム異常時などの安全性にも配慮されています。アナログの0-5 VDC信号による外部制御に対応し、既存のガス供給ラインや実験設備へ容易に組み込み可能です。

【AIによる参考仕様】
* **対象ガス：** 窒素（N2）
* **フルスケール流量：** 100 SCCM
* **継手仕様：** 1/4インチ Swagelok（スウェジロック）
* **外形寸法：** 幅（W）115 mm × 奥行（D）35 mm × 高さ（H）130 mm
* **バルブ動作：** 常時閉（Normally Closed）
* **シール材質：** エラストマー
* **流量制御範囲：** 2% ～ 100% F.S.
* **測定精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 2秒以下（設定値の±2%以内）
* **動作差圧範囲：** 約49 ～ 294 kPa
* **最大動作圧力：** 約490 kPa
* **入出力信号：** 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源：** ±15 VDC（±5%）