中古 マスフローコントローラー(MFC)
メーカー名
Tylan
型式FC-781C
年式表記:
仕様:ガスN2 流量50SLMW150 D40 H155
仕様:ガスN2 流量50SLMW150 D40 H155
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を高精度に計測・制御する熱式マスフローコントローラーです。半導体製造プロセスをはじめ、各種産業用ガス制御ラインにおいて長年の実績を持つ信頼性の高いシリーズに属します。測定対象ガスとして窒素(N2)に対応し、最大50SLM(Standard Liter per Minute)という比較的大流量の制御が可能です。
熱式センサーと高精度な電磁式コントロールバルブを組み合わせることで、一次側の圧力変動に対して迅速かつ安定した追従性を発揮します。本体サイズは幅150mm、奥行40mm、高さ155mmとコンパクトな設計になっており、限られたスペースのガスパネル内や装置内部への組み込みにも適しています。経年変化が少なく、長期にわたり安定したガス流量制御を提供できる堅牢な構造が特徴です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス:** 窒素(N2)
* **最大制御流量:** 50 SLM
* **バルブ動作:** ノーマリークローズ(常時閉)
* **外形寸法:** 幅 150 mm × 奥行 40 mm × 高さ 155 mm
* **継手仕様:** 1/4インチ(または3/8インチ相当、本体サイズより適合)
* **駆動電源:** ±15 VDC(標準的なアナログMFC仕様)
* **制御信号:** 0~5 VDC(アナログ入出力)
* **電気コネクタ:** D-sub 15ピン(標準ピンアサイン仕様)
本装置は、気体の質量流量を高精度に計測・制御する熱式マスフローコントローラーです。半導体製造プロセスをはじめ、各種産業用ガス制御ラインにおいて長年の実績を持つ信頼性の高いシリーズに属します。測定対象ガスとして窒素(N2)に対応し、最大50SLM(Standard Liter per Minute)という比較的大流量の制御が可能です。
熱式センサーと高精度な電磁式コントロールバルブを組み合わせることで、一次側の圧力変動に対して迅速かつ安定した追従性を発揮します。本体サイズは幅150mm、奥行40mm、高さ155mmとコンパクトな設計になっており、限られたスペースのガスパネル内や装置内部への組み込みにも適しています。経年変化が少なく、長期にわたり安定したガス流量制御を提供できる堅牢な構造が特徴です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス:** 窒素(N2)
* **最大制御流量:** 50 SLM
* **バルブ動作:** ノーマリークローズ(常時閉)
* **外形寸法:** 幅 150 mm × 奥行 40 mm × 高さ 155 mm
* **継手仕様:** 1/4インチ(または3/8インチ相当、本体サイズより適合)
* **駆動電源:** ±15 VDC(標準的なアナログMFC仕様)
* **制御信号:** 0~5 VDC(アナログ入出力)
* **電気コネクタ:** D-sub 15ピン(標準ピンアサイン仕様)
