中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-260のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において長年の実績を持つ、熱式質量流量コントローラー（MFC）です。ガス流量を熱式センサーによって測定し、内部のコントロールバルブをフィードバック制御することで、一次側の圧力変動に左右されない極めて安定した流量供給を可能にします。

本仕様は、最大流量「1SLM」、対象ガス「NH3（アンモニア）」用に設計・校正されています。NH3は腐食性と毒性を有する特殊材料ガスであるため、接ガス部には高い耐食性を持つステンレス鋼や専用のシール材が選定されており、過酷なガス雰囲気下でも信頼性の高いガス制御を実現します。制御方式は標準的なアナログインターフェースを採用しており、既存のシステムやアナログ制御機器への組み込みが容易な仕様となっています。

【AIによる参考仕様】
※以下は一般的な同種装置の仕様に基づいた参考値です。中古機器の特性上、実際のコネクタ形状やシール材質については現品を優先してください。

* **対象ガス:** NH3（アンモニア）
* **最大制御流量:** 1 SLM（Standard Liter per Minute）
* **制御範囲:** 2% 〜 100% F.S.（フルスケール）
* **精度:** ±1.0% F.S.
* **直線性:** ±0.5% F.S.
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **応答時間:** 2〜4秒（最終値の98%到達まで）
* **適正動作差圧:** 0.07 MPa 〜 0.27 MPa（10 〜 40 psid）
* **耐圧性能:** 最大動作圧力 1.0 MPa / 耐圧試験 2.0 MPa
* **動作温度範囲:** 5℃ 〜 45℃
* **接ガス部主要材質:** SUS316、耐食性エラストマー
* **バルブ構造:** ノーマリークローズ（N.C. / 無通電時閉）
* **外部制御信号:** 0 〜 5 VDC（流量設定・出力信号）
* **駆動電源:** ±15 VDC (±5%)
* **電気接続端子:** 20ピン カードエッジ端子（※個体の仕様・オプションにより異なる場合があります）