中古機 マスフローコントローラー（MFC） リンテック製、型式CV-2100NO　LEPのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、優れた応答性と高精度な制御性を特徴とするピエゾ（圧電素子）駆動方式の超精密コントロールバルブです。常時開（Normally Open: NO）仕様となっており、駆動電圧が印加されていない状態でバルブが開状態となる特性を持ちます。最高動作温度120℃までの高温環境に対応しており、真空ラインやガス制御ライン、液体気化システム等において優れた熱的安定性を発揮します。接ガス部にはメタルシール構造を採用しており、外部リークレート1.0×10⁻¹¹ Pa・m³/s（He）以下という極めて高い気密性を確保。半導体や電子デバイス製造プロセスで求められる超高純度ガスのハンドリングに適しています。本個体は、水素（H2）ガス用に最大流量2 SLM（2 L/min）のレンジで調整・校正された仕様となっています。

【AIによる参考仕様】
* **バルブ作動形式**: 常時開（Normally Open / NO）
* **駆動方式**: ピエゾ（圧電素子）アクチュエータ
* **最高動作温度**: 120℃
* **対応ガス（校正ガス）**: 水素（H2）
* **最大制御流量**: 2 SLM（2 L/min）
* **外部リークレート**: 1.0×10⁻¹¹ Pa・m³/s（He）以下
* **弁座リークレート**: 1.0×10⁻⁸ Pa・m³/s（He）以下（全閉時参考値）
* **シール材質**: メタル（高気密ガスケットシール）
* **入力信号/駆動電圧**: 0～100 VDC（専用コントローラによる制御）
* **標準接続継手**: 1/4インチ VCR相当（面シール継手）